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発行日2023-10-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1755379
登録日2023-10-05
意匠に係る物品化学的機械研磨装置用シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023006490
出願日2023-03-30
意匠権者株式会社荏原製作所,EBARA CORPORATION
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、化学的機械研磨(CMP)装置において、四辺形の基板を保持するトップリングに用いられるシール材である。
意匠の説明実線であらわされた部分が意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、意匠登録を受けようとする部分とその他の部分の境界のみを示す線である。「部分拡大底面側斜視図」は、「底面側斜視図」における意匠登録を受けようとする部分とその他の部分の境界付近を拡大したものである。
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