特許ウォッチ

公開番号2025131443
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024029204
出願日2024-02-28
発明の名称基板搬送ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250902BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】第1ハンドおよび第2ハンドの2つのハンドを水平方向に移動させることによって基板を搬送する場合に、搬送動作における位置の精度を向上可能な基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、ハンド11およびハンド12と、ハンド11を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド移動部41と、スライド移動部41とは別個に配置され、ハンド12を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド移動部42と、スライド移動部41およびスライド移動部42を昇降移動させることによって、ハンド11およびハンド12を昇降移動させる昇降部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
各々が基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドと、
前記第１ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第１スライド移動部と、
前記第１スライド移動部とは別個に配置され、前記第２ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第２スライド移動部と、
前記第１スライド移動部および前記第２スライド移動部を昇降移動させることによって、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドを昇降移動させる昇降部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、互いに上下方向に離間した状態で配置されている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記第１スライド移動部と前記第２スライド移動部との各々が接続される水平回転機構部をさらに備え、
前記水平回転機構部は、前記第１スライド移動部と前記第２スライド移動部とを、水平面に沿って個別に回転させる、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記第１スライド移動部は、前記水平回転機構部の上方に接続され、
前記第２スライド移動部は、前記水平回転機構部の下方に接続されている、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記水平回転機構部は、前記昇降部に接続され、
前記昇降部は、前記水平回転機構部を昇降移動させることによって、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドを連動して昇降移動させる、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記第１ハンドの基端に接続され、前記第１ハンドを、水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる第１ハンド回転部と、
前記第２ハンドの基端に接続され、前記第２ハンドを、水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる第２ハンド回転部とを、さらに備え、
前記第１スライド移動部は、前記第１ハンド回転部をスライド移動させることによって前記第１ハンドをスライド移動させ、
前記第２スライド移動部は、前記第２ハンド回転部をスライド移動させることによって前記第２ハンドをスライド移動させる、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記第１スライド移動部および前記第２スライド移動部の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、
平面視において、前記第１ハンドが前記第１スライド移動部とオーバーラップする位置に配置された状態で、前記第１ハンド回転部により前記第１ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させ、
平面視において、前記第２ハンドが前記第２スライド移動部とオーバーラップする位置に配置された状態で、前記第２ハンド回転部により前記第２ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる、請求項６に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記第１ハンドの下方において水平面に沿って配置された板状の第１液受け部と、
前記第２ハンドの下方において水平面に沿って配置された板状の第２液受け部とを、さらに備える、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記第１液受け部は、前記第１スライド移動部と一体的に移動し、
前記第２液受け部は、前記第２スライド移動部と一体的に移動する、請求項８に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記第１ハンドは、前記第１スライド移動部の上方に配置され、
前記第１液受け部は、前記第１ハンドの下方において、前記第１スライド移動部の上面に配置されており、
前記第２ハンドは、前記第２スライド移動部の下方に配置され、
前記第２液受け部は、前記第２ハンドの下方において、支持部材を介して前記第２スライド移動部に固定されている、請求項９に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが開示されている。特許文献１には、基板を搬送するロボットが開示されている。このロボットは、基板としてのウエハが搭載される第１ハンドおよび第２ハンドを備えている。第１ハンドは、第１アームの先端に連結されている。第２ハンドは、第２アームの先端に連結されている。第１アームおよび第２アームは、アーム支持部に取り付けられており、アーム支持部に対して上下方向を回転軸として回転する。特許文献１に記載の基板搬送ロボットでは、第１アームおよび第２アームによって、第１ハンドおよび第２ハンドが水平方向に移動する。また、アーム支持部は、柱部により上下方向に移動可能に保持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－３３７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたロボットでは、上下方向を回転軸として回転する第１アームおよび第２アームによって、それぞれ、第１ハンドおよび第２ハンドが移動する。そのため、第１ハンドおよび第２ハンドを直線的に移動させる場合には、第１アームおよび第２アームの各々において回転の動作を組み合わせて第１ハンドおよび第２ハンドを直線移動させるため、移動後の位置の精度が低下する場合がある。その場合、第１ハンドおよび第２ハンドによる基板の搬送後の位置の精度が低下する。そこで、第１ハンドおよび第２ハンドを水平方向に移動させることによって基板を搬送する場合に、搬送動作における位置の精度を向上することが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、第１ハンドおよび第２ハンドの２つのハンドを水平方向に移動させることによって基板を搬送する場合に、搬送動作における位置の精度を向上可能な基板搬送ロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、各々が基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第１スライド移動部と、第１スライド移動部とは別個に配置され、第２ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第２スライド移動部と、第１スライド移動部および第２スライド移動部を昇降移動させることによって、第１ハンドおよび第２ハンドを昇降移動させる昇降部と、を備える。
【０００７】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、第１ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第１スライド移動部と、第１スライド移動部とは別個に配置され、第２ハンドを水平方向に沿ってスライド移動させる第２スライド移動部とを備える。これにより、第１スライド移動部および第２スライド移動部により、それぞれ、回転動作を伴うことなく第１ハンドおよび第２ハンドを直線移動できるので、水平方向に沿って回転するロボットアームを用いてハンドを移動させる場合に比べて、直線移動における位置の精度を向上できる。その結果、第１ハンドおよび第２ハンドの２つのハンドを水平方向に移動させることによって基板を搬送する場合に、搬送動作における位置の精度を向上できる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、第１ハンドおよび第２ハンドの２つのハンドを水平方向に移動させることによって基板を搬送する場合に、搬送動作における位置の精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の一実施形態による基板搬送ロボットを備える基板処理システムの構成を示した模式図である。
基板搬送ロボットの制御的な構成を示したブロック図である。
基板搬送ロボットにおけるハンドの構成を説明するための斜視図である。
昇降部による昇降移動を示した側面図である。
支持部の構成を説明するための正面図である。
液受け部、および、遮蔽板の構成を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を具体化した本開示の一実施形態を図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許