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公開番号2025117042
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-12
出願番号2024011687
出願日2024-01-30
発明の名称プローブおよび電気的接続装置
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20250804BHJP(測定;試験)
要約【課題】電気的接続装置でのプローブの交換が容易なプローブおよび電気的接続装置を提供する。
【解決手段】プローブ10は、軸方向の一方の端部に検査対象物に接触させる先端部11が配置され、他方の端部に基端部13が配置され、軸方向から見て4つの側面を有する矩形状である。先端部11と基端部13の間に、弾性を有する複数のコイルスプリング部が、弾性を有さない連結部122を介して軸方向に沿って連結されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
軸方向の一方の端部に前記検査対象物に接触させる先端部が配置され、
他方の端部に基端部が配置され、
前記軸方向から見て４つの側面を有する矩形状であり、
前記先端部と前記基端部の間に、弾性を有する複数のコイルスプリング部が、弾性を有さない連結部を介して前記軸方向に沿って連結されている、
プローブ。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
弾性力が互いに異なる前記コイルスプリング部を少なくとも２つ含む、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記弾性力が互いに異なる２つの前記コイルスプリング部の一方の前記コイルスプリング部は、他方の前記コイルスプリング部と巻き数が異なる、請求項２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記軸方向に垂直な方向から見て、前記コイルスプリング部の各線が湾曲する部分を含む、請求項１に記載のプローブ。
【請求項５】
前記コイルスプリング部の内側に配置された導電性を有する柱状部材を更に備え、前記柱状部材は、前記先端部と前記連結部の間、２つの前記連結部の間、および前記基端部と前記連結部の間の少なくともいずれかを架橋する、請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
前記軸方向に貫通する貫通孔が前記連結部に形成され、
前記コイルスプリング部および前記連結部の前記貫通孔の内側に配置され、前記先端部と前記基端部とを架橋する単一の柱状部材を更に備える、請求項１に記載のプローブ。
【請求項７】
前記柱状部材と前記連結部を接続する接続部品を更に備える、請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記先端部と少なくとも１つの前記コイルスプリング部を介して電気的に接続する前記連結部の１つと、前記基端部と少なくとも１つの前記コイルスプリング部を介して電気的に接続する前記連結部の他の１つが、前記軸方向に沿って対向し且つ離隔して配置されている、請求項６に記載のプローブ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載のプローブと、
前記プローブが前記基端部から挿入される差し込み穴が配置され、前記基端部の端面と電気的に接続される端子が前記差し込み穴の底部に配置され、前記プローブを保持する保持部と
を備える、電気的接続装置。
【請求項１０】
前記保持部が、スペーストランスフォーマである、請求項９に記載の電気的接続装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブおよび電気的接続装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部が検査対象物の電極に接触し、プローブの他方の端部が電気的接続装置に含まれる基板に配置された端子（以下において「ランド」も称する。）に接触する。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【０００３】
検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、検査対象物とランドとをプローブを介して安定して電気的に接続する必要がある。このため、プローブ自体が軸方向の弾性を有さない場合に、電気的接続装置のプローブヘッドなどに湾曲させた状態でプローブを保持する方法が採用されている。湾曲したプローブを検査対象物に押し付けて更にプローブを湾曲させるオーバードライブにより、プローブの弾性によってプローブを安定して検査対象物とランドに接触させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－４２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、プローブを湾曲させた状態で保持する電気的接続装置では、プローブの交換が必要になった場合に、プローブヘッドに保持されたプローブを湾曲させた状態からまっすぐな状態に戻した後に、プローブヘッドからプローブを取り外す必要がある。このため、プローブの交換に時間を要するという問題があった。
【０００６】
上記問題点に鑑み、本発明は、電気的接続装置でのプローブの交換が容易なプローブおよび電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るプローブは、軸方向の一方の端部に検査対象物に接触させる先端部が配置され、他方の端部に基端部が配置され、軸方向から見て４つの側面を有する矩形状である。先端部と基端部の間に、弾性を有する複数のコイルスプリング部が、弾性を有さない連結部を介して軸方向に沿って連結されている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、電気的接続装置でのプローブの交換が容易なプローブおよび電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図２は、実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な平面図である。
図３は、図１に示すプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図４は、図１に示すプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図５は、図１に示すプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図６は、実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の構成を示す模式図である。
図７は、実施形態に係るプローブのコイルスプリング部を示す模式的な斜視図である。
図８は、図１に示すプローブの先端部と電流経路部材の接続を示す模式図である。
図９は、図１に示すプローブの連結部と電流経路部材の接続を示す模式図である。
図１０は、実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の各線の形状を示す模式図である。
図１１は、実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図１２は、実施形態に係る電気的接続装置の他の構成を示す模式図である。
図１３は、実施形態の第１の変形例に係るプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図１４は、実施形態の第１の変形例に係るプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図１５は、実施形態の第１の変形例に係るプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図１６は、実施形態の第１の変形例に係るプローブの電流経路部材を示す模式図である。
図１７は、実施形態の第１の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図１８は、図１７に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。
図１９は、実施形態の第２の変形例に係るプローブを構成する第１部品を示す模式図である。
図２０は、実施形態の第２の変形例に係るプローブを構成する第２部品を示す模式図である。
図２１は、実施形態の第２の変形例に係るプローブを構成する第３部品を示す模式図である。
図２２は、実施形態の第２の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図２３は、図２２に示すプローブの電流経路部材の接続方法を示す模式図である。
図２４は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の例を示す模式的な断面図である。
図２５は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の他の例を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造および配置などを下記のものに特定するものでない。
（【００１１】以降は省略されています）

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