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公開番号2025110140
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2024003906
出願日2024-01-15
発明の名称搬送装置
出願人上野精機株式会社
代理人弁理士法人ブライタス
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250718BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】電子部品の搬送を効率的にかつ確実に実施する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、電子部品を吸着保持する第1の保持部を円軌道に沿って移動させる第1の回転搬送部と、電子部品を吸着保持する第2の保持部を円軌道に沿って移動させる第2の回転搬送部と、電子部品の搬送経路上において第1の回転搬送部と第2の回転搬送部との間に設けられ、第1の保持部から受け取った電子部品の位置を補正して第2の保持部へ受け渡す位置補正部とを備える。位置補正部は、電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第1の保持部及び第2の保持部と電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、円軌道に沿って吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、回転搬送テーブルを平行移動させ、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部とを有する。第2の受け渡し位置で対向する吸着保持部の吸着面と第2の保持部の吸着面とは平行である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電子部品を吸着面で吸着保持する第１の保持部を有し、前記第１の保持部を円軌道に沿って移動させる第１の回転搬送部と、
前記電子部品を吸着面で吸着保持する第２の保持部を有し、前記第２の保持部を円軌道に沿って移動させる第２の回転搬送部と、
前記電子部品の搬送経路上において前記第１の回転搬送部と前記第２の回転搬送部との間に設けられ、前記第１の保持部から受け取った前記電子部品の位置を補正して前記第２の保持部へ受け渡す位置補正部と、
を備え、
前記位置補正部は、
前記電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第１の受け渡し位置において前記第１の保持部と前記電子部品の受け渡しを行い、第２の受け渡し位置において前記第２の保持部と前記電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、
前記吸着保持部が設けられ、回転軸を中心とする円軌道に沿って前記吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、
前記回転搬送テーブルを平行移動させ、前記吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部と、
を有し、
前記第２の受け渡し位置において、対向する前記吸着保持部の吸着面と前記第２の保持部の吸着面とは平行である、搬送装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記回転搬送テーブルは、前記第１の受け渡し位置と前記第２の受け渡し位置とで停止しながら、所定の回転ピッチで間欠移動し、
前記平行駆動部は、前記回転搬送テーブルの回転中に前記回転搬送テーブルを平行移動して、前記吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第１の受け渡し位置において前記第１の保持部から前記吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、前記第２の受け渡し位置において前記吸着保持部から前記第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとは、一致する、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第１の受け渡し位置において前記第１の保持部から前記吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、前記第２の受け渡し位置において前記吸着保持部から前記第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとは、異なる、請求項２に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の電子部品は、製造後に、外観検査、電気特性検査、マーキング処理等の工程を経て出荷される。これらの工程において電子部品は適正な姿勢とされている必要があり、各工程の処理を実施する前に電子部品の姿勢が補正される。
【０００３】
例えば特許文献１には、電子部品を保持する第１保持部を有し、第１保持部を第１円軌道に沿って移動させる第１回転搬送部と、電子部品を保持する第２保持部を有し、第１保持部との間で電子部品の受け渡しが可能な受渡領域を通る第２円軌道に沿って第２保持部を移動させる第２回転搬送部と、受渡領域における第２保持部の位置を調節する位置調節部と、を備える電子部品の処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１８７５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載の技術では、第２回転搬送部は、第１回転搬送部から受け取った電子部品を外観検査等の処理を施す中間処理部の位置まで移動させ、中間処理部により処理を施された電子部品を第１回転搬送部への受け渡し位置まで移動させる。このため、位置調節部は、中間処理部により処理を施している間は第２保持部の位置を調整することができず、電子部品の受け渡し時のアライメント処理を実施するための時間を別途確保する必要がある。
【０００６】
また、電子部品は、例えば吸着コレット等の、吸着面にて電子部品を吸着し保持する保持部によって搬送される。電子部品を落下させたりすることなく安定して搬送するためには、保持部の吸着面に対して電子部品が傾くことなく保持されることが重要である。例えば、サイズが比較的大きい（例えば、長辺の長さが５～１０ｍｍ程度の）電子部品であれば、そもそも吸着面に対する傾きは生じにくい。しかし、サイズが比較的小さい（例えば、長辺の長さが０．５～１ｍｍ程度の）電子部品の場合には、保持部が搬送する電子部品をウェハシートからピックアップした際に、電子部品のバンプ（電極）が吸着面の吸引孔に入り込んでしまい、電子部品が傾いて吸着面に保持されることもあり得る。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、電子部品の搬送を効率的に、かつ確実に実施することが可能な、電子部品の搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、電子部品を吸着面で吸着保持する第１の保持部を有し、第１の保持部を円軌道に沿って移動させる第１の回転搬送部と、電子部品を吸着面で吸着保持する第２の保持部を有し、第２の保持部を円軌道に沿って移動させる第２の回転搬送部と、電子部品の搬送経路上において第１の回転搬送部と第２の回転搬送部との間に設けられ、第１の保持部から受け取った電子部品の位置を補正して第２の保持部へ受け渡す位置補正部と、を備え、位置補正部は、電子部品を吸着保持する吸着面を有し、第１の受け渡し位置において第１の保持部と電子部品の受け渡しを行い、第２の受け渡し位置において第２の保持部と電子部品の受け渡しを行う吸着保持部と、吸着保持部が設けられ、回転軸を中心とする円軌道に沿って吸着保持部を移動させる回転搬送テーブルと、回転搬送テーブルを平行移動させ、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正する平行駆動部と、を有し、第２の受け渡し位置において、対向する吸着保持部の吸着面と第２の保持部の吸着面とは平行である、搬送装置が提供される。
【０００９】
回転搬送テーブルは、第１の受け渡し位置と第２の受け渡し位置とで停止しながら、所定の回転ピッチで間欠移動し、平行駆動部は、回転搬送テーブルの回転中に回転搬送テーブルを平行移動して、吸着保持部が吸着保持する電子部品の平面位置を補正してもよい。
【００１０】
搬送装置の動作において、第１の受け渡し位置において第１の保持部から吸着保持部へ電子部品を受け渡すタイミングと、第２の受け渡し位置において吸着保持部から第２の保持部へ電子部品を受け渡すタイミングとを、一致するようにしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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