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公開番号2025094918
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-25
出願番号2024215355
出願日2024-12-10
発明の名称基板搬送アームおよびそれを使用する装置
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250618BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板搬送アームおよびそれを使用する装置を提供する。
【解決手段】基板搬送アーム、より具体的には、基板がそれに付着するのを防ぎ、基板搬送アームを移動させる間に基板搬送アームと基板との間の汚染物質を低減するための基板搬送アームが提供される。一つ以上の実施形態では、基板搬送アームには、本体ユニット、本体に結合された複数の基板取付ユニットが設けられ得、基板取付ユニットの各々は、停止ユニット、および本体ユニットに結合されたパッドユニットを備え、パッドユニットは、本体ユニットに対して第一の方向に向かって傾斜している。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板を取り付けるための基板搬送アームであって、
本体ユニットと、
前記本体ユニットに結合された複数の基板取付ユニットとを備え、前記複数の基板取付ユニットが、前記基板を置くように構成され、
前記基板取付ユニットの各々が、停止ユニットおよび前記本体ユニットに結合されたパッドユニットを備え、前記パッドユニットが、前記本体ユニットに対して傾斜している、基板搬送アーム。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記パッドユニットが、前記本体ユニットに対して約５°～約３０°傾斜している、請求項１に記載の基板搬送アーム。
【請求項３】
前記パッドユニットが、第一の方向に向かって傾斜している、請求項１に記載の基板搬送アーム。
【請求項４】
前記第一の方向が、前記基板搬送アームの移動方向に対して垂直である、請求項３に記載の基板搬送アーム。
【請求項５】
前記パッドユニットが、第一の方向とは異なる第二の方向に向かって傾斜している、請求項１に記載の基板搬送アーム。
【請求項６】
前記第二の方向が、前記基板搬送アームの移動方向に対して垂直である、請求項５に記載の基板搬送アーム。
【請求項７】
前記パッドユニットが、
回転可能なユニットと、
前記回転可能なユニットを支持するための支持ユニットと、
前記回転可能なユニットを前記支持ユニットに結合するための固定ユニットとを備え、
前記回転可能なユニットが、前記本体ユニットに対して傾斜している、請求項１に記載の基板搬送アーム。
【請求項８】
前記回転可能なユニットがローラーを備える、請求項７に記載の基板搬送アーム。
【請求項９】
前記ローラーが直径約０．８ｃｍ～約１．０ｃｍである、請求項８に記載の基板搬送アーム。
【請求項１０】
前記ローラーの表面粗さが、約Ｒａ０．４～約Ｒａ３．２である、請求項８に記載の基板搬送アーム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板搬送アームおよびそれを使用する装置に関し、より詳細には、基板がアームに付着するのを防ぎ、基板の移動中に生成されるパーティクルを低減するための基板搬送アームに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基板搬送アームは、基板処理クラスタツールの基板ハンドリングチャンバから反応チャンバへ基板を搬送するか、またはその逆を行い、または、基板搬送アームは、多重反応チャンバ内の反応チャンバ間で基板を搬送するか、または、基板搬送チャンバ（例えば、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ））内で基板保管ステージ（例えば、フロントオープニングユニファイドポッド（ＦＯＵＰ））からロードロックチャンバへ基板を搬送するか、またはその逆を行う。
【０００３】
図１Ａは、既存の基板搬送アームを示し、図１Ｂは、基板が置かれた図１Ａの基板搬送アームの断面図を示す。
【０００４】
図１Ａでは、基板搬送アーム１００は、本体ユニット１０１、停止ユニット１０２、パッドユニット１０３、および基板１０６をクランプして基板１０６が基板搬送アーム１００上に載置されるのを支援するクランプユニット１０４を備え得る。
【０００５】
図１Ｂでは、基板１０６が基板搬送アーム１００上に置かれるとき、基板１０６の縁部は、パッドユニット１０３の傾斜した上面１０５上に載置され得る。基板１０６の縁部は、パッドユニット１０３の上面１０５上で摺動し、位置決めされ得る。パッドユニット１０３は、ガラス炭素などのプラスチックで形成され得る。
【０００６】
しかし、図１Ｂによる基板搬送アーム１００上に基板１０６を置く方法（すなわち、縁部接触方法）は、基板１０６の縁部とパッドユニット１０３の上面１０５との間の摩擦によるパーティクルなどの汚染物質を発生させ得る。
【０００７】
縁部接触方法では、基板１０６は、クランプユニット１０４が基板１０６をクランプ解除するときに、パッド１０３ユニット上で後方に摺動し得る。その結果、基板が基板支持体（図示せず）上の正しい置き場所から外れてしまう可能性がある。
【０００８】
図２Ａは、別の既存の基板搬送アームを示し、図２Ｂは、基板を載置した図２Ａの基板搬送アームの断面図を示す。
【０００９】
図２Ｂでは、基板１０６が基板搬送アーム１００上に置かれるとき、基板１０６は、パッドユニット１０７の平坦な上面上に載置され得る。パッドユニット１０７は、ガラス炭素などのプラスチックを備え得、本体ユニット１０１に固定され得る。パッドユニット１０７の上面は、基板１０６の下面とパッドユニット１０７の上面との間の摩擦に起因して摩耗するため、基板を摺動させ回せなくなる場合がある。
【００１０】
図２Ｂによる基板搬送アーム１００上に基板１０６を置く方法（すなわち、裏面コンタクト方法）では、基板１０６の下面とパッドユニット１０７の上面との間の摩擦により、基板の付着およびパーティクルなどの汚染物質を生成させる可能性がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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