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公開番号2024070450
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022180956
出願日2022-11-11
発明の名称電磁波センサ
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01J 1/02 20060101AFI20240516BHJP(測定;試験)
要約【課題】電磁波の良好な検出精度が得られる電磁波センサを提供する。
【解決手段】第1の方向Xに延在する第1のリード配線9aと、第1の方向Xとは異なる第2の方向Yに延在する第2のリード配線9bと、第1のリード配線9aと電気的に接続されると共に、第2のリード配線9bと電気的に接続された電磁波検出部とを備え、第2のリード配線9bは、第1の方向X及び第2の方向Yとは直交する第3の方向Zに間隔が設けられて、第1のリード配線9aとは立体的に交差して配置されており、第1のリード配線9aと第2のリード配線9bとの少なくとも一方のリード配線9bは、第3の方向Zから平面視したときに、第1のリード配線9aと第2のリード配線9bとが互いに重なる重畳部30において、一方のリード配線9bの重畳部30を除く部分における幅の平均値よりも幅が大きい幅広部31を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１の方向に延在する第１の配線と、
前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在する第２の配線と、
前記第１の配線と電気的に接続されると共に、前記第２の配線と電気的に接続された電磁波検出部とを備え、
前記第２の配線は、前記第１の方向及び前記第２の方向とは直交する第３の方向に間隔が設けられて、前記第１の配線とは立体的に交差して配置されており、
前記第１の配線と前記第２の配線との少なくとも一方の配線は、前記第３の方向から平面視したときに、前記第１の配線と前記第２の配線とが互いに重なる重畳部において、前記一方の配線の前記重畳部を除く部分における幅の平均値よりも幅が大きい幅広部を有することを特徴とする電磁波センサ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第３の方向から平面視したときに、前記幅広部は、前記一方の配線の幅方向の一方側に突出していることを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。
【請求項３】
前記第３の方向から平面視したときに、前記幅広部は、前記一方の配線の幅方向の両側に突出していることを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。
【請求項４】
少なくとも前記第３の方向の成分を含む方向に延在すると共に、前記一方の配線及び前記電磁波検出部と電気的に接続されたレッグ部を備え、
前記一方の配線は、前記幅広部において、前記レッグ部の一端側と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。
【請求項５】
前記レッグ部の他端側と前記電磁波検出部との間を電気的に接続するアーム部を備えることを特徴とする請求項４に記載の電磁波センサ。
【請求項６】
前記電磁波検出部を複数備え、
前記一方の配線を複数備え、
複数の前記電磁波検出部は、複数の前記一方の配線が並ぶ方向に並んで設けられ、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、前記複数の一方の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の一方の配線が前記第１の方向又は前記第２の方向に並んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。
【請求項７】
前記電磁波検出部を複数備え、
前記第１の配線を複数備え、
前記第２の配線を複数備え、
複数の前記電磁波検出部は、前記第１の方向及び前記第２の方向に二次元アレイ状に並んで設けられ、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、複数の前記第１の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の第１の配線が前記第２の方向に並んで設けられると共に、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、複数の前記第２の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の第２の配線が前記第１の方向に並んで設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。
【請求項８】
前記電磁波検出部は、温度検知素子と、前記温度検知素子の少なくとも一部を覆う電磁波吸収体とを含むことを特徴とする請求項１に記載の電磁波センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波センサに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、サーミスタ素子などの電磁波検出部を用いた電磁波センサがある。サーミスタ素子が有するサーミスタ膜の電気抵抗は、サーミスタ膜の温度変化に応じて変化する。電磁波センサでは、サーミスタ膜に入射した赤外線（電磁波）がサーミスタ膜又はサーミスタ膜の周辺の材料に吸収されることによって、このサーミスタ膜の温度が変化する。これにより、サーミスタ素子は、赤外線を検出する。
【０００３】
ここで、シュテファン＝ボルツマンの法則から、測定対象の温度と、この測定対象から熱輻射により放出される赤外線（輻射熱）との間には相関関係がある。したがって、測定対象から放出される赤外線をサーミスタ素子を用いて検出することで、測定対象の温度を非接触により測定することが可能である。
【０００４】
また、このようなサーミスタ素子は、二次元アレイ状に複数配列されることによって、測定対象の温度分布を二次元的に検出（撮像）する赤外線撮像素子（赤外線イメージセンサ）などの電磁波センサに応用されている（例えば、下記特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０１９／１７１４８８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した電磁波センサでは、赤外線の良好な検出精度を得るため、サーミスタ素子と電気的に接続されるリード配線の電気抵抗値を低く抑えることが求められている。
【０００７】
リード配線の電気抵抗値は、リード配線の幅を大きくすることで低くすることができるが、単にリード配線の全体の幅を大きくしてしまうと、平面視におけるリード配線の領域が大きくなり、これにより赤外線の検出精度が悪化することがあった。
【０００８】
例えば、平面視におけるリード配線の領域が大きくなることにより、リード配線からの熱輻射がサーミスタ素子に与える影響が大きくなり、赤外線の検出精度が悪化することがあった。また、例えば、平面視におけるリード配線の領域が大きくなることにより、リード配線が測定対象の赤外線をサーミスタ素子に対して遮蔽する影響が大きくなり、赤外線の検出精度が悪化することがあった。
【０００９】
本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、電磁波の良好な検出精度が得られる電磁波センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
〔１〕第１の方向に延在する第１の配線と、
前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在する第２の配線と、
前記第１の配線と電気的に接続されると共に、前記第２の配線と電気的に接続された電磁波検出部とを備え、
前記第２の配線は、前記第１の方向及び前記第２の方向とは直交する第３の方向に間隔が設けられて、前記第１の配線とは立体的に交差して配置されており、
前記第１の配線と前記第２の配線との少なくとも一方の配線は、前記第３の方向から平面視したときに、前記第１の配線と前記第２の配線とが互いに重なる重畳部において、前記一方の配線の前記重畳部を除く部分における幅の平均値よりも幅が大きい幅広部を有することを特徴とする電磁波センサ。
〔２〕前記第３の方向から平面視したときに、前記幅広部は、前記一方の配線の幅方向の一方側に突出していることを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
〔３〕前記第３の方向から平面視したときに、前記幅広部は、前記一方の配線の幅方向の両側に突出していることを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
〔４〕少なくとも前記第３の方向の成分を含む方向に延在すると共に、前記一方の配線及び前記電磁波検出部と電気的に接続されたレッグ部を備え、
前記一方の配線は、前記幅広部において、前記レッグ部の一端側と電気的に接続されていることを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
〔５〕前記レッグ部の他端側と前記電磁波検出部との間を電気的に接続するアーム部を備えることを特徴とする前記〔４〕に記載の電磁波センサ。
〔６〕前記電磁波検出部を複数備え、
前記一方の配線を複数備え、
複数の前記電磁波検出部は、複数の前記一方の配線が並ぶ方向に並んで設けられ、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、前記複数の一方の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の一方の配線が前記第１の方向又は前記第２の方向に並んで設けられていることを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
〔７〕前記電磁波検出部を複数備え、
前記第１の配線を複数備え、
前記第２の配線を複数備え、
複数の前記電磁波検出部は、前記第１の方向及び前記第２の方向に二次元アレイ状に並んで設けられ、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、複数の前記第１の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の第１の配線が前記第２の方向に並んで設けられると共に、
前記複数の電磁波検出部のそれぞれが、複数の前記第２の配線のうちの対応する１つと電気的に接続されるように、前記複数の第２の配線が前記第１の方向に並んで設けられていることを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
〔８〕前記電磁波検出部は、温度検知素子と、前記温度検知素子の少なくとも一部を覆う電磁波吸収体とを含むことを特徴とする前記〔１〕に記載の電磁波センサ。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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