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発行日2024-04-03
公報種別意匠公報(S)
登録番号1767336
登録日2024-03-26
意匠に係る物品半導体処理装置用シャワーヘッド
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023023293,29/875,949
出願日2023-11-10
意匠権者ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、例えば、半導体の製造に用いられる半導体処理装置において処理ガスを放出するためのシャワーヘッドである。
意匠の説明実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。各図の表面部に表された細線は、模様を表す線ではなく、いずれも立体表面の形状を表す線である。背面図は正面図と同じであるため省略し、左側面図は右側面図と同じであるため省略する。
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