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発行日2024-04-03
公報種別意匠公報(S)
登録番号1767346
登録日2024-03-26
意匠に係る物品ねじ込みノズルインサート
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023011806,29/868,660
出願日2023-06-09
意匠権者ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、半導体処理用ツールにおいて処理ガスを半導体ウェハに向けて供給するためのねじ込みノズルインサートであり、たとえば、シャワーヘッドの下面においてシャワーヘッドに形成されている処理ガス供給孔にねじ込まれて用いられるねじ込みノズルインサートである。
意匠の説明実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。正面図、平面図、右側面図および左側面図の上端部および首下に表される細実線、平面図の外周縁部に表される細実線、並びに参考斜視図の外周縁部に表される細実線は、立体表面の形状を特定するための線である。一点鎖線は意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界のみを示す線である。
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