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公開番号2025108806
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-24
出願番号2024002219
出願日2024-01-11
発明の名称静電吸着装置
出願人コニカミノルタ株式会社
代理人弁理士法人光陽国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250716BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より安定的にワークをリリースできる静電吸着装置を提供する。
【解決手段】静電吸着装置100は、電圧の印加によりワークWを電気的に吸着する吸着部21と、ワークWを吸着部21からリリースする際に、吸着部21からのリリースを促進するリリース促進部と、を備える。リリース促進部は、例えばワークWとの接触部の少なくとも一部が可撓性を有する吸着部21を変形させる変形部23や、吸着部21を加振する加振部25を備える。
【選択図】図3A
特許請求の範囲【請求項１】
電圧の印加によりワークを電気的に吸着する吸着部と、
前記ワークを前記吸着部からリリースする際に、前記吸着部からのリリースを促進するリリース促進部と、を備える静電吸着装置。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記吸着部のうち、前記ワークとの接触部の少なくとも一部は可撓性を有し、
前記リリース促進部は、前記接触部の面積が低減するように前記吸着部を変形させる変形部を備える請求項１に記載の静電吸着装置。
【請求項３】
前記リリース促進部は、前記吸着部を加振する加振部を備える請求項１に記載の静電吸着装置。
【請求項４】
前記加振部は、前記吸着部の位置と前記ワークのリリース位置とを結ぶ方向に前記吸着部を加振する請求項３に記載の静電吸着装置。
【請求項５】
前記リリース促進部は、前記吸着部に逆電圧を印加した時に前記ワークとの接触面に形成される複数の凸部を備える請求項１から４のいずれか一項に記載の静電吸着装置。
【請求項６】
第１の位置から第２の位置へ前記吸着部を搬送する駆動部と、
前記第１の位置において、前記吸着部に電圧を印加させて前記ワークを電気的に吸着させ、
前記第２の位置において、前記吸着部への電圧の印加を停止又は前記吸着部へ逆電圧を印加させて前記吸着部から前記ワークをリリースさせる制御部と、を備える請求項１から４のいずれか一項に記載の静電吸着装置。
【請求項７】
前記第２の位置には、電圧の印加により前記ワークを電気的に吸引する吸引部が設けられ、
前記制御部は、前記吸着部に逆電圧を印加させた際に、前記吸引部に電圧を印加させる請求項６に記載の静電吸着装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記ワークを前記吸着部からリリースする際に、前記ワークの重心に応じて前記第２の位置に対する前記吸着部の角度を調整する請求項６に記載の静電吸着装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電吸着装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、所定のワークを吸着部でピックした上で搬送し、目的位置でリリースする吸着装置が知られている。具体的には、例えば特許文献１及び２に示すような、吸着部でエアーを吸引することで負圧を形成して、当該負圧によってワークをピックする真空吸着装置が知られている。
【０００３】
しかしながら、このような真空吸着装置は、エアーのみならずワーク周辺に存在する異物もピックして、吸着力が低下するおそれがある。また、ワークが極小である場合は、当該ワークをピックできるだけの負圧を形成しきれないことがある。
【０００４】
そこで、例えば、特許文献３及び４には、電圧の印加によってワークを静電吸着させる、静電吸着装置が記載されている。当該構成によれば、極小のワークであっても十分にピックできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１９－２０２２３９号公報
特開２００２－１３４６０１号公報
特開２００９－０６６７３９号公報
特開２０１２－０１８９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献３及び４に係る静電吸着装置は、ワークが極小である場合に、残留電荷によるクーロン力のためにリリースできないことがある。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、ワークの安定したリリースができる吸着部及び静電吸着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、静電吸着装置であって、
電圧の印加によりワークを電気的に吸着する吸着部と、
前記ワークを前記吸着部からリリースする際に、前記吸着部からのリリースを促進するリリース促進部と、を備える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の静電吸着装置であって、
前記吸着部のうち、前記ワークとの接触部の少なくとも一部は可撓性を有し、
前記リリース促進部は、前記接触部の面積が低減するように前記吸着部を変形させる変形部を備える。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の静電吸着装置であって、
前記リリース促進部は、前記吸着部を加振する加振部を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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