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公開番号2025105990
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2025077686,2022577464
出願日2025-05-08,2021-06-10
発明の名称自動シャワーヘッド傾斜調整
出願人ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
主分類H01L 21/3065 20060101AFI20250703BHJP(基本的電気素子)
要約【解決手段】いくつかの例において、基板処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するための自動傾動システムが提供される。自動傾動システムは、コンポーネントと協働するように、またカップリングによってコンポーネントの一部に連結されるように配置された少なくとも1つの傾斜調整モータを含む。カップリングは、少なくとも1つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、少なくとも1つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きを、コンポーネントの前記連結部分に付与して、処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するように構成される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するための自動傾動システムであって、
前記コンポーネントと協働するように配置された少なくとも１つの傾斜調整モータを含み、
前記少なくとも１つの傾斜調整モータは、直接または間接的に、カップリングによって前記コンポーネントの連結部分に連結され、前記カップリングは、前記少なくとも１つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、前記少なくとも１つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きを、前記コンポーネントの前記連結部分に付与し、それにより、前記処理チャンバの前記コンポーネントの前記方向を調整するように構成されている、自動傾動システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の自動傾動システムであって、前記コンポーネントは、シャワーヘッドコンポーネントまたは冷却プレートコンポーネントである、自動傾動システム。
【請求項３】
請求項１に記載の自動傾動システムであって、前記カップリングは、軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースを含む、自動傾動システム。
【請求項４】
請求項３に記載の自動傾動システムであって、前記軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースは、関連する傾斜調整モータから、軸方向の負荷を緩和する、自動傾動システム。
【請求項５】
請求項３に記載の自動傾動システムであって、前記軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースは、球状カップに収納されるボールエンドスクリューを含む、自動傾動システム。
【請求項６】
請求項１に記載の自動傾動システムであって、前記コンポーネントと前記処理チャンバとの間に配置されたベローズをさらに含む、自動傾動システム。
【請求項７】
請求項６に記載の自動傾動システムであって、前記ベローズは、前記コンポーネントと前記処理チャンバとの間に、少なくとも部分的に真空シールを提供する、自動傾動システム。
【請求項８】
請求項１に記載の自動傾動システムであって、１つまたは複数の負荷補償装置をさらに含む、自動傾動システム。
【請求項９】
請求項１に記載の自動傾動システムであって、前記コンポーネントは、摩擦撹拌接合コンポーネントである、または摩擦撹拌接合コンポーネントを含む、自動傾動システム。
【請求項１０】
基板処理システムであって、
基板処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するための自動傾動システムを含み、前記自動傾動システムは、
前記コンポーネントと協働するように配置された少なくとも１つの傾斜調整モータを含み、
前記少なくとも１つの傾斜調整モータは、直接または間接的に、カップリングによって前記コンポーネントの連結部分に連結され、前記カップリングは、前記少なくとも１つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、前記少なくとも１つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きを前記コンポーネントの前記連結部分に付与し、それにより、前記処理チャンバの前記コンポーネントの前記方向を調整するように構成されている、基板処理システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
［優先権の主張］
本出願は、２０２０年６月２３日に出願された米国仮特許出願第６３／０４２，９８０号の優先権の利益を主張し、上記の出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
続きを表示（約 2,400 文字）【０００２】
本開示は概して、基板処理システムにおけるシャワーヘッドコンポーネントの自動傾斜調整のためのシステム、装置、および方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
基板処理システムにおける、従来のシャワーヘッドおよび冷却プレートアセンブリは、一般に、シャワーヘッド冷却プレートを所望の方向に傾けるように手動で調整できる、一続きのねじロッドまたはスクリューを含む。特定の方向は、例えば、計画的メンテナンス後やシャワーヘッドの交換時に所望される場合がある。方向操作は一般に、方向の初期調整が行われる度ごとの基板支持アセンブリの手動でのギャップ確認、およびその後、所望された方向と一致するまで、傾動操作の「微調整」を検証するため、何らかの形態の計測を含む。この手動調整は通常、適正な有資格の専門家が現場にいることが必要で、一般に、シャワーヘッドコンポーネントの冷却および加熱のために数時間を要する。機械操作者は、素早く傾斜方向を変更することはできず、不完全または急な傾動は、不要なウエハくずの生成をもたらす。さらに、冷却プレートコンポーネントは、ろう付けされた形態である場合が多く、余分な複雑さやこれらのコンポーネントの検査により、製造時間及び費用が増加し得る。
【０００４】
ここで提供される背景の説明は、本開示の内容を概ね提示することを目的とする。なお、このセクションに記載される情報は、以下の本開示の主題の一部の内容を当業者に提供するために提示されており、承認された先行技術であると考えられるべきではない。より具体的には、この背景技術のセクションで説明される範囲内において、現時点で名前を挙げられている発明者らによる研究および出願の時点で先行技術として別途みなされ得ない説明の態様は、明示または暗示を問わず、本開示に対抗する先行技術として認められない。
【発明の概要】
【０００５】
本開示は概して、基板処理システムにおけるシャワーヘッドコンポーネントの自動傾斜調整のためのシステム、装置、および方法に関する。
【０００６】
いくつかの例では、基板処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するための自動傾動システムが提供される。例示的な自動傾動システムは、コンポーネントと協働するように配置された少なくとも１つの傾斜調整モータを含み、少なくとも１つの傾斜調整モータは、直接または間接的に、カップリングによってコンポーネントの連結部分に連結され、カップリングは、少なくとも１つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、少なくとも１つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きを、コンポーネントの連結部分に付与し、それにより、処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するように構成されている。
【０００７】
いくつかの例では、コンポーネントは、シャワーヘッドコンポーネントまたは冷却プレートコンポーネントである。いくつかの例では、カップリングは、軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースを含む。いくつかの例では、軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースは、関連する傾斜調整モータから、軸方向の負荷を緩和する。いくつかの例では、軸方向プランジカップラーとスクリューとのインターフェースは、球状カップに収納されるボールエンドスクリューを含む。いくつかの例では、自動傾動システムは、コンポーネントと処理チャンバとの間に配置されたベローズをさらに含む。いくつかの例では、ベローズは、コンポーネントと処理チャンバとの間に、少なくとも部分的に真空シールを提供する。いくつかの例では、自動傾動システムは、１つまたは複数の負荷補償装置をさらに含む。いくつかの例では、コンポーネントは、摩擦撹拌接合コンポーネントである、または摩擦撹拌接合コンポーネントを含む。
【０００８】
いくつかの例では、基板処理システムは、基板処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するための自動傾動システムを含み、自動傾動システムは、コンポーネントと協働するように配置された少なくとも１つの傾斜調整モータを含み、少なくとも１つの傾斜調整モータは、直接または間接的に、カップリングによってコンポーネントの連結部分に連結され、カップリングは、少なくとも１つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、少なくとも１つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きをコンポーネントの連結部分に付与し、それにより、処理チャンバのコンポーネントの方向を調整するように構成されている。いくつかの例では、基板処理システムの自動傾斜調整システムは、上に要約された１つまたは複数の要素のいずれかを含む。
【０００９】
いくつかの例では、非一時的コンピュータ可読記憶媒体が提供される。例示的なコンピュータ可読記憶媒体は、コントローラにより実行されたときに、コントローラに、基板処置チャンバのコンポーネントと協働するように配置された少なくとも１つの傾斜調整モータと通信させ、ここで、少なくとも１つの傾斜調整モータは、直接または間接的に、カップリングによってコンポーネントの連結部分に連結されており、カップリングは、少なくとも１つの傾斜調整モータによる自動回転運動が、少なくとも１つの傾斜調整モータまたはデータム構造に対して、対応する軸方向の動きを、コンポーネントの連結部分に付与するよう構成されており；また、選択的に少なくとも１つの傾斜調整モータを係合させて、コンポーネントの方向を調整するようにさせる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
添付図面の図に、例としていくつかの実施形態が図示されているが、これらは限定ではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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