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公開番号2025103679
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221237
出願日2023-12-27
発明の名称表示装置の製造方法
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類H10K 71/20 20230101AFI20250702BHJP()
要約【課題】信頼性の低下を抑制する。
【解決手段】一実施形態によれば、表示装置の製造方法は、下電極と、無機絶縁層と、前記無機絶縁層の上に位置する下部及び前記下部の上に位置し前記下部の側面から突出した上部を含む隔壁と、を形成した処理基板を用意し、前記開口において前記下電極の上に、前記隔壁をマスクとした蒸着により、上電極を含む積層膜を形成し、前記積層膜の上に、無機絶縁材料で封止層を形成し、前記封止層の上に、パターニングしたレジストを形成し、前記レジストから露出した前記封止層を除去し、前記レジストから露出した前記積層膜を除去し、前記積層膜を除去する工程は、前記下部に接する前記上電極をエッチング液で除去する工程を含み、前記エッチング液は、硝酸と、リン酸と、酢酸との混合物であり、前記硝酸の濃度は、26%以上であり、前記リン酸の濃度は、0.5%以上、10%以下であり、前記酢酸の濃度は、0.5%以上、15%以下である。
【選択図】図15
特許請求の範囲【請求項１】
基板の上方に位置する下電極と、前記下電極と重なる開口を有する無機絶縁層と、前記無機絶縁層の上に位置する下部及び前記下部の上に位置し前記下部の側面から突出した上部を含む隔壁と、を形成した処理基板を用意し、
前記開口において前記下電極の上に、前記隔壁をマスクとした蒸着により、上電極を含む積層膜を形成し、
前記積層膜の上に、無機絶縁材料で封止層を形成し、
前記封止層の上に、パターニングしたレジストを形成し、
前記レジストから露出した前記封止層を除去し、
前記レジストから露出した前記積層膜を除去し、
前記積層膜を除去する工程は、前記下部に接する前記上電極をエッチング液で除去する工程を含み、
前記エッチング液は、硝酸と、リン酸と、酢酸との混合物であり、
前記硝酸の濃度は、２６％以上であり、
前記リン酸の濃度は、０．５％以上、１０％以下であり、
前記酢酸の濃度は、０．５％以上、１５％以下である、
表示装置の製造方法。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
前記リン酸の濃度は、８％以下である、
請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記酢酸の濃度は、８％以下である、
請求項２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記硝酸の濃度は、３０％以上である、
請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記上電極を前記エッチング液で除去するための時間は、６０秒以上、１２０秒以下である、
請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記上電極を前記エッチング液で除去する工程は、５５０ｎｍ以上の波長に輝線スペクトルを有する光源の下で行う、
請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記光源として、ナトリウムランプを用いる、
請求項６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記下部のうち、前記無機絶縁層の上に位置する第１導電層は、チタン系材料で形成し、前記第１導電層と前記上部との間に位置する第２導電層は、アルミニウム系材料で形成する、
請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記上電極は、マグネシウムと銀との混合物で形成する、
請求項８に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記積層膜を形成する工程は、
前記下電極の上に、発光層を含む有機層を形成する工程と、
前記有機層の上に、上電極を形成する工程と、
前記上電極の上に、キャップ層を形成する工程と、を含み、
前記封止層を除去した際に、前記下部の一部と、前記キャップ層とを露出し、
前記上電極を前記エッチング液で除去する工程において、前記下部の一部は、前記エッチング液に晒される、
請求項９に記載の表示装置の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、薄膜トランジスタを含む画素回路と、画素回路に接続された下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極と、を備えている。有機層は、発光層の他に、正孔輸送層や電子輸送層などの機能層を含んでいる。
このような表示素子を製造する過程において、信頼性の低下を抑制する技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、信頼性の低下を抑制することが可能な表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態によれば、表示装置の製造方法は、
基板の上方に位置する下電極と、前記下電極と重なる開口を有する無機絶縁層と、前記無機絶縁層の上に位置する下部及び前記下部の上に位置し前記下部の側面から突出した上部を含む隔壁と、を形成した処理基板を用意し、前記開口において前記下電極の上に、前記隔壁をマスクとした蒸着により、上電極を含む積層膜を形成し、前記積層膜の上に、無機絶縁材料で封止層を形成し、前記封止層の上に、パターニングしたレジストを形成し、前記レジストから露出した前記封止層を除去し、前記レジストから露出した前記積層膜を除去し、前記積層膜を除去する工程は、前記下部に接する前記上電極をエッチング液で除去する工程を含み、前記エッチング液は、硝酸と、リン酸と、酢酸との混合物であり、前記硝酸の濃度は、２６％以上であり、前記リン酸の濃度は、０．５％以上、１０％以下であり、前記酢酸の濃度は、０．５％以上、１５％以下である。
【０００６】
一実施形態によれば、表示装置の製造方法は、
基板の上方に位置する第１下電極及び第２下電極と、前記第１下電極と重なる第１開口及び前記第２下電極と重なる第２開口を有する無機絶縁層と、前記第１開口と前記第２開口との間において前記無機絶縁層の上に位置する下部及び前記下部の上に位置し前記下部の側面から突出した上部を含む隔壁と、を形成した処理基板を用意し、前記第１開口における前記第１下電極の上、及び、前記第２開口における前記第２下電極の上に、前記隔壁をマスクとした蒸着により、上電極を含む積層膜を形成し、前記積層膜の上に、無機絶縁材料で封止層を形成し、前記第１下電極の直上に位置する前記封止層の上に、パターニングしたレジストを形成し、前記レジストから露出した前記封止層を除去して、前記第２下電極の上に重なる前記積層膜を露出し、前記レジストから露出した前記積層膜を除去して、前記第２開口から前記第２下電極を露出するとともに前記第２開口に面した前記下部の側面を露出し、前記積層膜を除去する工程は、前記下部に接する前記上電極をエッチング液で除去する工程を含み、前記エッチング液は、硝酸と、リン酸と、酢酸との混合物であり、前記硝酸の濃度は、２６％以上であり、前記リン酸の濃度は、０．５％以上、１０％以下であり、前記酢酸の濃度は、０．５％以上、１５％以下である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、表示装置ＤＳＰの構成例を示す図である。
図２は、副画素ＳＰ１、ＳＰ２、ＳＰ３のレイアウトの一例を示す図である。
図３は、図２中のＡ－Ｂ線に沿う表示装置ＤＳＰの概略的な断面図である。
図４は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図５は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図６は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図７は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図８は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図９は、上電極ＵＥ１を除去するためのエッチング装置２００の一構成例を簡略化して示す図である。
図１０は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図１１は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図１２は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図１３は、表示装置ＤＳＰの製造方法を説明するための図である。
図１４は、マザー基板１００の他の構成例を示す断面図である。
図１５は、エッチング液の組成比と、有機層の剥がれとの関係を示す実験結果である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【０００９】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を第１方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を第２方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を第３方向Ｚと称する。第３方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。
【００１０】
本実施形態に係る表示装置は、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置であり、テレビ、パーソナルコンピュータ、車載機器、タブレット端末、スマートフォン、携帯電話端末等に搭載され得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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