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公開番号2025090888
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-18
出願番号2023205748
出願日2023-12-06
発明の名称搬送用ハンドおよび搬送装置
出願人アスザック株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250611BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】軽量化を図りつつ、熱膨張/収縮に起因する破損を好適に回避し得る搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】ウエハX(薄板状の搬送対象物)を載置可能な板状に形成されると共にウエハXを搬送する搬送装置に取り付け可能に構成された搬送用ハンド10であって、搬送装置に取り付けられる取付部10aと、ウエハXが載置される載置部10bと、取付部10aおよび載置部10bを連結する連結部10cとがセラミックスによって一体成形されると共に、載置部10bおよび連結部10cの少なくとも一方における搬送用ハンド10の板厚内に閉鎖空間で構成された複数の空洞31が形成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
薄板状の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に当該搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成された搬送用ハンドであって、
前記搬送装置に取り付けられる取付部と、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記取付部および前記載置部を連結する連結部とがセラミックスによって一体成形されると共に、前記載置部および前記連結部の少なくとも一方における当該搬送用ハンドの板厚内に閉鎖空間で構成された複数の空洞が形成されている搬送用ハンド。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記空洞における当該搬送用ハンドの厚み方向に沿った高さが、当該空洞における前記厚み方向の一方の隔壁を構成する第１の薄板部の厚み、および当該空洞における当該厚み方向の他方の隔壁を構成する第２の薄板部の厚みと等しくなるように形成されている請求項１記載の搬送用ハンド。
【請求項３】
前記載置部における載置面に複数の吸気口が開口され、かつ当該各吸気口に連通させられた吸気路が当該搬送用ハンドの板厚内に形成されると共に、前記搬送装置による当該吸気路を介しての当該各吸気口からの吸気によって当該搬送対象物を吸着して保持可能に構成された第１の保持部を備えている請求項１記載の搬送用ハンド。
【請求項４】
前記載置部における載置面に複数の排気口が開口され、かつ当該各排気口に連通させられた排気路が当該搬送用ハンドの板厚内に形成されると共に、前記搬送装置による当該排気路を介しての当該各排気口からの排気によって前記載置部に載置された前記搬送対象物との間に負圧を生じさせて当該搬送対象物を引き寄せて保持可能に構成された第２の保持部を備えている請求項１記載の搬送用ハンド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の搬送用ハンドを取り付け可能に構成されて前記搬送対象物を搬送可能に構成されている搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ等の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成された搬送用ハンド、およびそのような搬送用ハンドを備えて搬送対象物を搬送可能に構成された搬送装置に関するものである。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献には、ＳｉＣ－Ｓｉ複合材料からなる一対の平板の間にＳｉＣ－Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体が挟み込まれた状態で、両板体がハニカム構造体に接合されて一体化された搬送装置用ハンド（以下、「搬送用ハンド」ともいう）が開示されている。この搬送用ハンドでは、例えば、１枚の厚手の平板で形成した搬送用ハンドと比較して、両平板の間のハニカム構造体に存在する複数の空洞部の分だけ軽量化が図られている。これにより、搬送装置に取り付けた搬送用ハンドに搬送対象物を載置した状態において搬送用ハンドおよび搬送対象物を搬送装置によって高速移動させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－１７５１４１号公報（第２－３頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記特許文献に開示の搬送用ハンドには、以下のような解決すべき課題が存在する。
【０００５】
具体的には、前述したように、上記特許文献に開示の搬送用ハンドでは、一対の平板の間にハニカム構造体が挟み込まれた状態で両板体がハニカム構造体に接合されて一体化されている。より具体的には、この搬送用ハンドでは、搬送用ハンドの平面視形状に合わせて切り出した一対の平板に接合剤をそれぞれ塗布すると共に、押し出し成形によって製作したハニカム構造体の前駆体を両平板の間に複数個配置し、その状態において金属Ｓｉおよびアルゴンガスの雰囲気中で加熱処理することにより、一方の平板、前駆体、および他方の平板の積層物が一体化されている。したがって、この搬送用ハンドでは、平板で構成された部位と、前駆体で構成されたハニカム構造体との接合部の組織が、平板の組織やハニカム構造体の組織とは相違する状態となっている。
【０００６】
この場合、この種の搬送用ハンドは、高温に加熱された搬送対象物を搬送したり、高温の環境下への搬送対象物の搬入／搬出を行ったりするときに使用されることがあり、その使用中に大きく温度変化させられることがある。したがって、上記特許文献に開示の搬送用ハンドでは、平板で構成された部位、ハニカム構造体、および両者の接合部の組織が相違することで、搬送用ハンド全体の温度変化時における各部の熱膨張／収縮の状態が相違する状態となり、接合部に対して変形に伴う内部応力が生じることがある。このため、上記特許文献に開示の搬送用ハンドでは、長期に亘る使用（多数回の熱膨張／収縮）により、平板で構成された部位とハニカム構造体との接合力が低下し、搬送対象物の搬送中に大きな振動が加わったときなどに破損するおそれがある。
【０００７】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、軽量化を図りつつ、熱膨張／収縮に起因する破損を好適に回避し得る搬送用ハンドを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の搬送用ハンドは、薄板状の搬送対象物を載置可能な板状に形成されると共に当該搬送対象物を搬送する搬送装置に取り付け可能に構成された搬送用ハンドであって、前記搬送装置に取り付けられる取付部と、前記搬送対象物が載置される載置部と、前記取付部および前記載置部を連結する連結部とがセラミックスによって一体成形されると共に、前記載置部および前記連結部の少なくとも一方における当該搬送用ハンドの板厚内に閉鎖空間で構成された複数の空洞が形成されている。
【０００９】
請求項２記載の搬送用ハンドは、請求項１記載の搬送用ハンドにおいて、前記空洞における当該搬送用ハンドの厚み方向に沿った高さが、当該空洞における前記厚み方向の一方の隔壁を構成する第１の薄板部の厚み、および当該空洞における当該厚み方向の他方の隔壁を構成する第２の薄板部の厚みと等しくなるように形成されている。
【００１０】
請求項３記載の搬送用ハンドは、請求項１記載の搬送用ハンドにおいて、前記載置部における載置面に複数の吸気口が開口され、かつ当該各吸気口に連通させられた吸気路が当該搬送用ハンドの板厚内に形成されると共に、前記搬送装置による当該吸気路を介しての当該各吸気口からの吸気によって当該搬送対象物を吸着して保持可能に構成された第１の保持部を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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