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公開番号2024074594
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022185861
出願日2022-11-21
発明の名称試料保持具
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240524BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供する。
【解決手段】試料保持具は、セラミック体と、発熱抵抗体と、金属板と、固定部材と、を備える。セラミック体は、板状であり、試料を保持する第1面および第1面の反対に位置する第2面をする。発熱抵抗体は、セラミック体の内部または第2面に位置する。金属板は、セラミック体の第2面と離間して対向する第3面および第3面の反対に位置する第4面を有する。固定部材は、金属板とセラミック体とを固定している。金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有し、
前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定しており、
前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する
試料保持具。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記金属板の前記中央部における前記第４面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記金属板は、前記中央部の前記第３面から前記第４面に貫通する第１通気孔を有する
請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記金属板は、前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第２凹部に対応して位置する
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項５】
前記金属板は、前記第３面に開口する第１凹部および前記第４面に開口する第２凹部を有し、
前記薄肉部は、前記第１凹部および前記第２凹部に対応して位置し、
前記第１凹部および前記第２凹部は、深さが等しい
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項６】
板状のセラミック体と、
発熱抵抗体と、
金属板と、
固定部材と、を備え、
前記セラミック体は、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置し、
前記金属板は、
前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第５面および該第５面の反対に位置する第６面を有し、中央部に貫通孔を有する第１部材と、
第７面および該第７面の反対に位置する第８面を有し、前記第１部材の前記貫通孔を覆うように位置する第２部材と、を有し、
前記第２部材によって前記第１部材の前記中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部が形成される
試料保持具。
【請求項７】
前記第１部材の前記中央部における前記第６面に端面が接する筒状部材、を備え、
前記第２部材は、前記第７面から前記第８面に貫通する第２通気孔を有する
請求項６に記載の試料保持具。
【請求項８】
前記第２通気孔は、上端部と下端部とで内径が異なる
請求項７に記載の試料保持具。
【請求項９】
前記第２部材は、前記第１部材の前記第５面に接する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
【請求項１０】
前記第２部材は、前記第１部材の前記第６面に接する
請求項６～８のいずれか一つに記載の試料保持具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、試料保持具に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品などの製造工程において、半導体ウェハや液晶基板、回路基板などの平板状の試料を保持して加熱する試料保持具が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－２３５６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方で、上記の従来技術では、試料を保持する試料面を有するセラミック体が他の部材に起因して反ることで、保持面が試料全体と均等に接触できない場合があった。これにより、試料全体を均等に加熱できない恐れがあった。
【０００５】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の一態様に係る試料保持具は、セラミック体と、発熱抵抗体と、金属板と、固定部材と、を備える。前記セラミック体は、板状であり、試料を保持する第１面および該第１面の反対に位置する第２面を有する。前記発熱抵抗体は、前記セラミック体の内部または前記第２面に位置する。前記金属板は、前記セラミック体の前記第２面と離間して対向する第３面および該第３面の反対に位置する第４面を有する。前記固定部材は、前記金属板と前記セラミック体とを固定している。前記金属板は、中央部に周辺部よりも厚みが薄い薄肉部を有する。
【発明の効果】
【０００７】
実施形態の一態様によれば、試料全体を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態に係る試料保持具の構成の一例を示す断面図である。
図２は、実施形態に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図および上面図である。
図３は、別の実施形態１に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図４は、別の実施形態２に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図５は、別の実施形態３に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図６は、別の実施形態４に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図７は、別の実施形態５に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図および上面図である。
図８は、別の実施形態６に係る試料保持具の金属板の中央部を示す拡大断面図である。
図９は、別の実施形態７に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１０は、別の実施形態８に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１１は、別の実施形態９に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１２は、別の実施形態１０に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１３は、別の実施形態１１に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１４は、別の実施形態１２に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
図１５は、別の実施形態１３に係る試料保持具の金属板の中央部およびその近傍を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する試料保持具の実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【００１０】
また、以下に示す実施形態では、「等しい」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「等しい」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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