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公開番号2024038713
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-21
出願番号2022142944
出願日2022-09-08
発明の名称金属酸化物薄膜の製造方法及び有機薄膜太陽電池の製造方法
出願人国立大学法人金沢大学
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H10K 30/50 20230101AFI20240313BHJP()
要約【課題】有機層の分解を抑制できる金属酸化物薄膜の製造方法及び有機薄膜太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】この金属酸化物薄膜の製造方法は、下地上に、酸化物の前駆体溶液を塗布する塗布工程と、前記前駆体溶液を減圧雰囲気で80℃以上の温度で加熱する加熱工程と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
下地上に、酸化物の前駆体を含む前駆体溶液を塗布する塗布工程と、
前記前駆体溶液を減圧雰囲気で８０℃以上の温度で加熱する加熱工程と、を有する、金属酸化物薄膜の製造方法。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記加熱工程における真空度を５．０×１０
３
Ｐａ以下とする、請求項１に記載の金属酸化物薄膜の製造方法。
【請求項３】
前記酸化物が、酸化亜鉛である、請求項１に記載の金属酸化物薄膜の製造方法。
【請求項４】
前記前駆体溶液は、アセチルアセトン金属錯体と、２－メトキシエタノール又はイソプロピルアルコールと、を有し、
前記前駆体溶液に、アセチルアセトンを添加する、請求項１に記載の金属酸化物薄膜の製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載の金属酸化物薄膜の製造方法を用いて金属酸化物薄膜を形成する工程と、
前記金属酸化物薄膜上に、有機層を形成する工程と、を有する、有機薄膜太陽電池の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属酸化物薄膜の製造方法及び有機薄膜太陽電池の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
有機薄膜太陽電池は、設置箇所への制限が少なく、素子の大型化が比較的簡単と言われており、注目されている。
【０００３】
有機薄膜太陽電池は、第１電極と第２電極とに挟まれる活性層で、光エネルギーを電気エネルギーに変換する。活性層は、電子捕集層、発電層、ホール捕集層等の複数の層が積層されて形成される。
【０００４】
金属酸化物薄膜は、有機薄膜太陽電池の電極、電子捕集層として用いられる。例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化チタン等は、電極に用いられる。例えば、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ケイ素、酸化スズ、酸化タングステン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化アルミニウム、酸化イットリウム等は、電子捕集層に用いられる。
【０００５】
金属酸化物薄膜の作製方法として、様々な方法が提案されている。例えば、特許文献１には、金属酸化物粒子が分散した分散液を乾燥又は焼結する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１２－０９４８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
有機薄膜太陽電池の有機層は、光照射により劣化する。例えば、金属酸化物薄膜と有機層との界面で、有機層が劣化する場合がある。これは、金属酸化物薄膜の表面に存在するＯＨ基に吸着した水分子が原因ではないかと考えられる。水分子は、光照射により生じる正孔と反応し、ラジカルを生み、ラジカルが有機層を劣化させる。
【０００８】
例えば、特許文献１のように、金属酸化物粒子を作製した後に、金属酸化物粒子を分散媒に分散し、金属酸化物薄膜を形成すると、金属酸化物粒子を作製した時点で金属酸化物粒子の表面にＯＨ基が形成される。ＯＨ基は、水分子と吸着する。そのため、この金属酸化物粒子を用いて作製された金属酸化物薄膜は、水分子を含み、有機層を劣化させる。つまり、特許文献１に記載の金属酸化物薄膜では、有機層の劣化を十分防ぐことは難しい。
【０００９】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、有機層の分解を抑制できる金属酸化物薄膜の製造方法及び有機薄膜太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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