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発行日
2024-01-15
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1761349
登録日
2024-01-04
意匠に係る物品
基板処理装置に用いられる飛沫拡散抑制部材
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2023012870
出願日
2023-06-23
意匠権者
株式会社SCREENホールディングス
,
SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人
個人
,
個人
意匠に係る物品の説明
本物品は、基板処理装置に用いられる。本物品は、[使用状態を示す参考図]に示すように、支持部材に支持される基板の上面に向けてノズル部から液が吐出されたときに、基板の上面から飛散した液の飛沫をシールド面で受け止める。これにより、液の飛沫の拡散が抑制される。
意匠の説明
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