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発行日2024-04-03
公報種別意匠公報(S)
登録番号1767341
登録日2024-03-26
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用搬送ユニット
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2023027111
出願日2023-12-27
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、ウェハ洗浄装置内に取り付けて使用されるものであり、使用状態を示す参考図に示すように、ウェハを搬送するために使用されるものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界のみを示す。斜視図、A-B部拡大図、C-C部拡大図、D-D断面図、E-E断面図及びF-F部拡大図を含めて意匠登録を受けようとする部分を特定している。
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