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発行日2024-07-04
公報種別意匠公報(S)
登録番号1774744
登録日2024-06-26
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置
意匠分類K0-70(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024003141
出願日2024-02-15
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、各部の名称を示す参考図に示すように、例えば、バッチ洗浄装置と枚葉洗浄装置等の2つの装置を接続するインターフェースユニットを備えたものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。縮小斜視図、A-A縮小断面斜視図1、A-A縮小断面斜視図2、B-C部拡大図及びD-E部拡大図を含めて意匠登録を受けようとする部分を特定している。
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