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発行日2025-06-20
公報種別意匠公報(S)
登録番号1801608
登録日2025-06-12
意匠に係る物品ウェハ保持チャック用カバー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000593
出願日2025-01-14
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、使用状態を示す参考図に示すように、ウェハ保持チャックの上面中央に取り付けて使用されるものであって、外縁部に沿って複数のパージ孔が形成されているものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。拡大斜視図、A-A部拡大図及びB-B拡大端面図を含めて意匠登録を受けようとする部分を特定している。背面図は正面図と、左側面図は右側面図と、それぞれ同一に表れる。
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