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発行日2025-10-01
公報種別意匠公報(S)
登録番号1809552
登録日2025-09-22
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用情報表示画像
意匠分類N3-10W()
出願番号2024027158
出願日2024-12-26
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、バッチ式ウェハ洗浄装置のアラームの発生日時や発生場所等のアラームに関する情報を表示するための画像である。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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