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発行日2025-02-19
公報種別意匠公報(S)
登録番号1791485
登録日2025-02-10
意匠に係る物品ウェハ表面加工分析システム用画像
意匠分類N3-10W()
出願番号2024013001
出願日2024-06-26
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、ウェハのエッチング工程の処理結果を予測・分析するシステムのデータを表示するための画像であり、エッチング薬液の種類や使用量等の条件やその条件による処理結果等の情報を表示するものである。使用状態を示す参考図に示すように、左側にエッチング薬液の種類や使用量等の条件を示すグラフが配置され、右側に予測される処理結果を示すグラフが配置されている。例えば、左側に表示されたエッチング薬液の種類を選択又はスライドバーを動かして使用量を変化させると、それに従って右側の処理結果が変化するため、任意の条件に基づく処理結果を予測することができる。また、右側の処理結果を示すグラフを操作すると、それに従って左側の各エッチング薬液の使用量が変化するため、希望する処理結果から必要となる条件を予測することもできる。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
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