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発行日2025-02-19
公報種別意匠公報(S)
登録番号1791484
登録日2025-02-10
意匠に係る物品ウェハ表面検査システム用画像
意匠分類N3-11W()
出願番号2024013000
出願日2024-06-26
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、ウェハ表面に付着したパーティクル(微粒子)を検査・分析するシステムのデータを表示するための画像であり、検出したパーティクルの位置及びパーティクルの発生原因等の情報を表示するものである。使用状態を示す参考図に示すように、左側にウェハ表面に付着したパーティクルの位置を示すマップが配置され、右側にパーティクルの発生原因に関する情報が配置されており、マップ上のパーティクルの中から任意のパーティクルを選択すると、選択したパーティクルの発生原因に関する情報が右側に表示される。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
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