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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1785383
登録日2024-11-15
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用情報表示画像
意匠分類N3-11W()
出願番号2024000311
出願日2024-01-11
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、ウェハ洗浄装置の設定及び運転状況を表示するための画像であり、使用状態を示す参考図に示すように、装置の名称、発生しているアラーム数やワーニング数等の情報を表示するものである。
意匠の説明
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