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発行日2024-11-26
公報種別意匠公報(S)
登録番号1785481
登録日2024-11-18
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用情報表示画像
意匠分類N3-11W()
出願番号2024000529
出願日2024-01-15
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、ウェハ洗浄装置の運転状況を監視するために使用される画像であり、使用状態を示す参考図に示すように、監視対象や監視条件等の情報を設定及び表示するものである。
意匠の説明
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