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発行日2024-11-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1785386
登録日2024-11-15
意匠に係る物品ウェハ洗浄装置用情報表示画像
意匠分類N3-11W()
出願番号2024000315
出願日2024-01-11
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明この画像は、ウェハ洗浄装置の設定及び運転状況を表示するための画像であり、使用状態を示す参考図に示すように、装置で処理したウェハ枚数、時間単位での処理枚数、週単位での処理枚数や型番毎の処理枚数等の情報を表示するものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。
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