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発行日2024-09-30
公報種別意匠公報(S)
登録番号1781038
登録日2024-09-19
意匠に係る物品ウェハ保持具
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024013210
出願日2024-06-27
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、使用状態を示す参考図に示すように、ウェハ洗浄装置内においてウェハを保持・搬送するために使用されるものである。
意匠の説明実線で表した部分が、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分である。一点鎖線は、部分意匠として意匠登録を受けようとする部分とその他の部分との境界のみを示す。斜視図及びA-A拡大断面図を含めて意匠登録を受けようとする部分を特定している。左側面図は右側面図と対称に表れる。
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