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発行日
2024-09-30
公報種別
意匠公報(S)
登録番号
1781036
登録日
2024-09-19
意匠に係る物品
排気口開閉ユニット
意匠分類
K0
-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号
2024013004
出願日
2024-06-26
意匠権者
株式会社SCREENホールディングス
,
SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人
個人
,
個人
,
個人
意匠に係る物品の説明
本物品は、例えば、使用状態を示す参考断面図に示すように、ウェハ洗浄装置の排気口の開閉に使用されるものである。
意匠の説明
この意匠をJ-PlatPatで参照する
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