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発行日2024-09-30
公報種別意匠公報(S)
登録番号1781036
登録日2024-09-19
意匠に係る物品排気口開閉ユニット
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024013004
出願日2024-06-26
意匠権者株式会社SCREENホールディングス,SCREEN Holdings Co.,Ltd.
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、例えば、使用状態を示す参考断面図に示すように、ウェハ洗浄装置の排気口の開閉に使用されるものである。
意匠の説明
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