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公開番号2025124145
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2024020000
出願日2024-02-14
発明の名称薄板乾燥装置
出願人株式会社天谷製作所
代理人個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250819BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】構造を簡素化し、薄板を薄板載置部に確実に保持し、装置としての信頼性を向上させる薄板乾燥装置を提供する。
【解決手段】薄板である半導体ウエハ2を乾燥させる半導体ウエハ乾燥装置1であって、駆動軸としてのシャフト13を回転駆動する回転駆動手段であるサーボモータ10と、半導体ウエハ2を載置し、シャフト13に連結されてシャフト13を回転駆動することにより半導体ウエハ2を回転させて乾燥する薄板載置部である支持ピン25と、シャフト13に連結されてシャフト13を回転駆動することによって空気を吸い込み、この吸込み力によって支持ピン25に半導体ウエハ2を圧接する遠心ファン20と、を備える。
【選択図】図5

特許請求の範囲【請求項１】
薄板を乾燥させる薄板乾燥装置であって、
駆動軸を回転駆動する回転駆動手段と、
前記薄板を載置し、前記駆動軸に連結されて該駆動軸を回転駆動することにより前記薄板を回転させて乾燥する薄板載置部と、
前記駆動軸に連結されて該駆動軸を回転駆動することによって空気を吸い込み、該吸込み力によって前記薄板載置部に前記薄板を圧接する圧接手段と、
を備えることを特徴とする薄板乾燥装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記圧接手段が遠心ファンであって、該遠心ファンは、前記駆動軸によって回転駆動され、上板と、該上板から離間して設けられた下板と、これら上板と下板との間の周方向に沿って複数配設された羽根部材とを有し、前記上板の中央に開口部が形成され、該開口部の上側に前記空気を吸い込む吸入筒が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の薄板乾燥装置。
【請求項３】
前記吸入筒と前記薄板載置部に載置された前記薄板との間に隙間が設けられ、該隙間を介して前記吸入筒の上側から前記空気を吸い込むことによって前記薄板を前記薄板載置部に圧接するよう構成したことを特徴とする請求項２に記載の薄板乾燥装置。
【請求項４】
前記薄板載置部は、それぞれ柱状に形成された複数の支持ピンを有し、これらの支持ピンは、それぞれ上部に前記薄板の外周端を支持する支持部と、該支持部に隣接して前記薄板の横方向の移動を阻止する突部と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載の薄板乾燥装置。
【請求項５】
前記薄板が半導体ウエハであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の薄板乾燥装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば洗浄後の半導体ウエハ等の薄板を乾燥させる薄板乾燥装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ乾燥装置には、例えば特許文献１に記載された技術がある。この半導体ウエハ乾燥装置は、半導体ウエハを真空吸着でプレートに固定し、このプレートが超音波振動素子を有する超音波振動装置に固着され、この超音波振動装置に設けられているヒーターで加熱してプレートを高温にし、超音波振動素子の超音波振動エネルギーによって半導体ウエハを乾燥させる装置である。
【０００３】
このような半導体ウエハ乾燥装置では、超音波振動素子を有する超音波振動装置やプレートを加熱するヒーターが必要になることから、部品点数が多くなり、構造が複雑化する問題がある。
【０００４】
また、その他の半導体ウエハ乾燥装置には、特許文献２に記載された技術がある。この半導体ウエハ乾燥装置は、半導体ウエハを装着するウエハ装着部を有する乾燥室内でウエハ装着部を回転させることにより、その遠心力で半導体ウエハを乾燥する装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第３１９１３７９号公報
特開平９－１８１０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献２に記載された技術は、薄板である半導体ウエハをプレート等のウエハ載置部に載置し、このウエハ装着部を回転させることにより、その遠心力で半導体ウエハを乾燥する装置に適用した場合には、その遠心力で半導体ウエハがウエハ装着部から離脱して落下することがあり、装置としての信頼性に著しく欠けるという問題が発生する。
【０００７】
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、構造を簡素化し、薄板を薄板載置部に確実に保持し、装置としての信頼性を向上させる薄板乾燥装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を達成するために、請求項１に記載の発明は、薄板を乾燥させる薄板乾燥装置であって、駆動軸を回転駆動する回転駆動手段と、前記薄板を載置し、前記駆動軸に連結されて該駆動軸を回転駆動することにより前記薄板を回転させて乾燥する薄板載置部と、前記駆動軸に連結されて該駆動軸を回転駆動することによって空気を吸い込み、該吸込み力によって前記薄板載置部に前記薄板を圧接する圧接手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成に加え、前記圧接手段が遠心ファンであって、該遠心ファンは、前記駆動軸によって回転駆動され、上板と、該上板から離間して設けられた下板と、これら上板と下板との間の周方向に沿って複数配設された羽根部材とを有し、前記上板の中央に開口部が形成され、該開口部の上側に前記空気を吸い込む吸入筒が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の構成に加え、前記吸入筒と前記薄板載置部に載置された前記薄板との間に隙間が設けられ、該隙間を介して前記吸入筒の上側から前記空気を吸い込むことによって前記薄板を前記薄板載置部に圧接するよう構成したことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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