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公開番号2025110576
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-29
出願番号2024004478
出願日2024-01-16
発明の名称シート剥離装置およびシート剥離方法
出願人リンテック株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250722BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】広域に亘って所定のエネルギー特有の変化を起こさせた接着シートを被着体から剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。
【解決手段】被着体WKの外周面WK1に貼付された接着シートASを保持するシート保持手段10と、シート保持手段10で保持された接着シートASに張力を付与し、被着体WKから接着シートASを剥離する剥離手段20と、接着シートASに所定のエネルギーUVを付与するエネルギー付与手段30と、を備え、接着シートASは、所定のエネルギーUVの付与により当該所定のエネルギーUV特有の変化を起こすものとされるとともに、被着体WKの一方の面WK2および他方の面WK3にも回り込むように貼付されており、エネルギー付与手段30は、被着体WKの一方の面WK2側および他方の面WK3側から接着シートASに所定のエネルギーUVを付与する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートに所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段と、を備え、
前記接着シートは、前記所定のエネルギーの付与により当該所定のエネルギー特有の変化を起こすものとされるとともに、前記被着体の一方の面および他方の面にも回り込むように貼付されており、
前記エネルギー付与手段は、前記被着体の一方の面側および他方の面側から前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与することを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記被着体は、前記所定のエネルギーの付与により当該所定のエネルギー特有の変化を起こすカバーシートが貼付され、
前記エネルギー付与手段は、前記カバーシートに対し、当該カバーシートが前記所定のエネルギー特有の変化を起こさない量のエネルギーを付与することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持工程と、
前記シート保持工程で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートに所定のエネルギーを付与するエネルギー付与工程と、を実施し、
前記接着シートは、前記所定のエネルギーの付与により当該所定のエネルギー特有の変化を起こすものとされるとともに、前記被着体の一方の面および他方の面にも回り込むように貼付されており、
前記エネルギー付与工程では、前記被着体の一方の面側および他方の面側から前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与することを特徴とするシート剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
被着体における環状の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－３０８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたテープ剥がしシステム７０（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）の周縁部（外周面）の一方の面側からしか保護テープ２７（接着シート）に紫外線（所定のエネルギー）を照射しないため、一方の面側の接着シートは硬化（所定のエネルギー特有の変化）を起こすものの、他方の面側の接着シートは所定のエネルギー特有の変化を起こさないという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、広域に亘って所定のエネルギー特有の変化を起こさせた接着シートを被着体から剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被着体の一方の面および他方の面にも回り込むように貼付された接着シートに対し、一方の面側および他方の面側から所定のエネルギーを付与するので、広域に亘って所定のエネルギー特有の変化を起こさせた接着シートを被着体から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図および同装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＶＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート剥離方法を実施するシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫの外周面ＷＫ１に貼付された接着シートＡＳを保持するシート保持工程を実施するシート保持手段１０と、シート保持手段１０で保持された接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての紫外線ＵＶを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段３０とを備えている。
接着シートＡＳは、紫外線ＵＶの付与により当該紫外線ＵＶ特有の変化としての接着力低下を起こすものとされるとともに、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２および他方の面ＷＫ３にも回り込むように貼付されている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状となっており、他方の面ＷＫ３の外縁部には、環状の凸部ＣＶが設けられ、環状の凸部ＣＶを含む他方の面ＷＫ３側に紫外線ＵＶの付与により当該紫外線ＵＶ特有の変化としての接着力低下を起こすカバーシートＣＳが貼付され、当該カバーシートＣＳ上に一部が重なるようにして接着シートＡＳが貼付されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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