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公開番号2025080871
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-27
出願番号2023194223
出願日2023-11-15
発明の名称キャピラリ供給モジュール、キャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置
出願人株式会社新川
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/60 20060101AFI20250520BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮する。
【解決手段】供給モジュール54は、複数の交換用キャピラリ243Tが載置されるベース載置面542bと、交換用キャピラリ243Tが接するベース取出面542dと、を含むマガジンベース542と、マガジンベース542に取り付けられると共に、ベース載置面542bに対面するカバー覆い面541aとベース取出面542dに対面するカバー取出面541bと、を含むマガジンカバー541と、を備える。キャピラリ供給口54bは、交換用キャピラリ243Tの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第1供給口部54b1及び第2供給口部54b2と、を含み、第1供給口部54b1の開口幅G54aは、交換用キャピラリ243Tの直径よりも小さく、第2供給口部54b2の開口幅G54bは、交換用キャピラリ243Tの直径D243よりも大きい。
【選択図】図16

特許請求の範囲【請求項１】
複数のキャピラリが載置されるベース載置面と、前記複数のキャピラリのうち取り出しの対象となった前記キャピラリが接するベース取出面と、を含むベースと、
前記ベースに取り付けられると共に、前記ベース載置面に対面するカバー覆い面と前記ベース取出面に対面するカバー取出面と、を含むカバーと、を備え、
前記ベース及び前記カバーは、
前記ベース載置面と前記カバー覆い面との間に形成された領域であるキャピラリ収容部と、
前記ベース取出面と前記カバー取出面との間に形成された領域であるキャピラリ供給口と、を構成し、
前記キャピラリ供給口は、前記キャピラリの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部及び第２供給口部と、を含み、
前記第１供給口部の開口幅は、前記キャピラリの直径よりも小さく、
前記第２供給口部の開口幅は、前記キャピラリの直径よりも大きい、キャピラリ供給モジュール。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記第１供給口部を構成する前記ベース取出面及び前記カバー取出面の少なくとも一方には、前記ベース取出面及び前記カバー取出面の他方に向かって突出する突起が設けられている、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。
【請求項３】
前記キャピラリの軸線に沿った前記第１供給口部の長さは、前記第２供給口部の長さより、長い、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。
【請求項４】
前記ベース載置面と前記ベース取出面とは互いに共通の仮想平面上に存在せず、
前記ベース載置面から前記ベース取出面までの角度は、１８０度より大きい、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。
【請求項５】
複数の前記キャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有し、前記ベースに配置されるキャピラリ保持部材と、
前記キャピラリ保持部材を前記カバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、
前記キャピラリ保持部材を前記ベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、をさらに備える、請求項１に記載のキャピラリ供給モジュール。
【請求項６】
複数のキャピラリを、前記キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、前記キャピラリの直径より小さい開口幅である第１供給口部及び前記キャピラリの直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、前記供給方向に沿って前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に前記キャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、
前記キャピラリ供給口に位置する前記キャピラリを前記軸線に沿って、前記第１供給口部から前記第２供給口部へ移動させることによって、前記キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を備える、キャピラリ提供機構。
【請求項７】
前記キャピラリ供給モジュールは、
ベースと、カバーと、複数の前記キャピラリのそれぞれが配置される複数の保持溝を有するキャピラリ保持部材と、前記キャピラリ保持部材を前記カバーに向けて押圧する保持力を発生する保持力発生部材と、前記キャピラリ保持部材を前記ベースに向けて引っ張る解除力を発生する解除力発生部材と、を有し、
前記キャピラリ供給モジュールが前記キャピラリ取替モジュールに配置されていないときにおける複数の前記キャピラリは、前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に向かって移動しないように、前記キャピラリ保持部材と前記保持力発生部によって拘束された状態であり、
前記キャピラリ供給モジュールが前記キャピラリ取替モジュールに配置されているときにおける複数の前記キャピラリは、前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に向かって移動可能であるように、前記キャピラリ保持部材と前記保持力発生部による拘束が、前記解除力発生部によって解除された状態である、請求項６に記載のキャピラリ提供機構。
【請求項８】
ホーンに取り付けられると共にワイヤが挿入される使用済みキャピラリと、
前記使用済みキャピラリを交換用キャピラリに交換する交換ユニットと、を備え、
前記交換ユニットは、
ホーンから引き抜かれた前記使用済みキャピラリを所定の直線方向に沿って、交換位置から取替位置まで搬送すると共に、前記使用済みキャピラリに代えて前記ホーンに取り付けるための前記交換用キャピラリを前記所定の直線方向とは逆方向に取替位置から交換位置まで送り機構によって搬送するキャピラリ搬送モジュールと、
複数の前記交換用キャピラリを、前記交換用キャピラリの軸線と直交する供給方向に並べて収容するキャピラリ収容部と、前記交換用キャピラリの直径より小さい開口幅である第１供給口部及び前記交換用キャピラリの直径より大きい開口幅である第２供給口部を含むキャピラリ供給口と、を有し、前記供給方向に沿って前記キャピラリ収容部から前記キャピラリ供給口に前記交換用キャピラリを移動させるキャピラリ供給モジュールと、
前記キャピラリ供給口に位置する前記交換用キャピラリを前記軸線に沿って、前記第１供給口部から前記第２供給口部へ移動させることによって、前記交換用キャピラリを取り出す動作を実行するキャピラリ取替モジュールと、を有するワイヤボンディング装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャピラリ供給モジュール、キャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ワイヤボンディング装置は、ワイヤを用いて半導体チップの電極とリードフレームを電気的に接続する。ワイヤは、キャピラリと称される部品から、半導体チップの電極等に押圧される共に必要に応じて熱又は超音波などが与えられる。その結果、ワイヤは、半導体チップの電極等に接合される。このような接合動作を、ボンディングと称する。
【０００３】
ボンディングが繰り返されると、キャピラリの先端が摩耗するなどの理由から所望のボンディングの結果が得られにくくなる。そこで、キャピラリは、ボンディングの回数などに基づいて設定される交換条件を満たすごとに交換される。
【０００４】
特許文献１～３は、ワイヤボンディングに関する技術をそれぞれ開示する。特許文献１は、ボンディングツールであるキャピラリを交換しながら、連続してボンディングを行うことができる装置及び方法を開示する。特許文献２は、キャピラリの位置を正確に検出する装置及び方法を開示する。特許文献３は、ワイヤ抜け及びワイヤ曲がりをより効果的に抑制する方法を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第４７００５９５号
特開２００１－２４９００７号公報
特許第４４６７６３１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このキャピラリを交換する作業は、使用済みのキャピラリを新しいキャピラリへ単に交換する動作だけではなく、新しいキャピラリに挿通されるワイヤをボンディングが再開可能な状態とする動作まで含む。つまり、キャピラリを交換するためにボンディングを停止してから、新しいキャピラリによるボンディングを再開するまでには、複数の工程を要する。キャピラリを交換する作業を行うためには、ボンディングを中断する必要があるので、当該技術分野にあっては、これらのような複数の工程を含んだキャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することが望まれている。
【０００７】
本発明は、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮するキャピラリ供給モジュール、当該キャピラリ供給モジュールを備えたキャピラリ提供機構及びワイヤボンディング装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一形態であるキャピラリ供給モジュールは、複数のキャピラリが載置されるベース載置面と、複数のキャピラリのうち取り出しの対象となったキャピラリが接するベース取出面と、を含むベースと、ベースに取り付けられると共に、ベース載置面に対面するカバー覆い面とベース取出面に対面するカバー取出面と、を含むカバーと、を備え、ベース及びカバーは、ベース載置面とカバー覆い面との間に形成された領域であるキャピラリ収容部と、ベース取出面とカバー取出面との間に形成された領域であるキャピラリ供給口と、を構成し、キャピラリ供給口は、キャピラリの基端から先端に向かう方向に沿って並ぶ第１供給口部及び第２供給口部と、を含み、第１供給口部の開口幅は、キャピラリの直径よりも小さく、第２供給口部の開口幅は、キャピラリの直径よりも大きい。
【０００９】
このキャピラリ供給モジュールによれば、複数のキャピラリを収容したキャピラリ収容部からキャピラリ供給口を介して、交換用である新たなキャピラリを供給することができる。つまり、キャピラリ供給モジュールを取り替えることによって、複数の新たな交換用のキャピラリを供給することが可能になる。従って、交換用のキャピラリを１本ずつ交換する態様と比較して、キャピラリを交換する作業に要する時間を短縮することができる。
【００１０】
上記のキャピラリ供給モジュールにおいて、第１供給口部を構成するベース取出面及びカバー取出面の少なくとも一方には、ベース取出面及びカバー取出面の他方に向かって突出する突起が設けられていてもよい。この構成によると、外部からの操作に応じて、キャピラリ供給口からキャピラリを取り出すことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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