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公開番号2024139288
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023050162
出願日2023-03-27
発明の名称位置決め装置
出願人日本精工株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類G12B 5/00 20060101AFI20241002BHJP(器械の細部)
要約【課題】一対のステージの位置決め静定性及び位置決め精度に優れる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】位置決め装置1は、基台6上で一対のステージ5A,5BがX軸方向及びY軸方向に移動可能であって、互いにY軸方向に平行に離間しながらX軸方向に延在して配置された一対のX軸方向案内部3A,3Bと、一対のX軸方向案内部3A,3BによりX軸方向に移動可能に支持されて、互いにX軸方向に平行に離間しながらY軸方向に延在して配置された一対のY軸方向案内部4A,4Bと、一対のY軸方向案内部4A,4BによりそれぞれY軸方向に移動可能に支持された一対のステージ5A,5Bと、を備える。一対のステージ5A,5Bは、X軸方向及びY軸方向の移動時において、互いに逆向きに加減速される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基台上で一対のステージがＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に配置される位置決め装置であって、
互いに前記Ｙ軸方向に平行に離間しながら前記Ｘ軸方向に延在して配置された一対のＸ軸方向案内部と、
前記一対のＸ軸方向案内部により前記Ｘ軸方向に移動可能に支持されて、互いに前記Ｘ軸方向に平行に離間しながら前記Ｙ軸方向に延在して配置された一対のＹ軸方向案内部と、
前記一対のＹ軸方向案内部によりそれぞれ前記Ｙ軸方向に移動可能に支持された前記一対のステージと、を備え、
前記一対のステージは、前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向の移動時において、互いに逆向きに加減速される、
位置決め装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージの加減速度は、当該一対のステージへの搭載部品の質量に対応する、
位置決め装置。
【請求項３】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージは、それぞれ、前記基台に対して当該一対のステージを気体によって鉛直方向に浮上支持する鉛直方向空気軸受を有する、
位置決め装置。
【請求項４】
請求項３に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージは、それぞれ、非接触状態で当該一対のステージを前記基台に向けて吸引する吸引力発生部を有する、
位置決め装置。
【請求項５】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージは、それぞれ、前記Ｙ軸方向案内部に対して当該一対のステージを気体によって前記Ｙ軸方向と直交する水平方向に支持する水平方向空気軸受を有する、
位置決め装置。
【請求項６】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記一対のＸ軸方向案内部は、転がり案内である、
位置決め装置。
【請求項７】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記Ｙ軸方向案内部を前記Ｘ軸方向に駆動するＸ軸駆動部、及び、前記一対のステージを前記Ｙ軸方向に駆動するＹ軸駆動部は、リニアモータである、
位置決め装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決め装置の改良に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内でステージを回転させる回転機構や、ステージをスライド移動させる位置決め装置が用いられる。特許文献１には、露光装置、第１ステージ及び第２ステージを備えて、第１ステージ及び第２ステージが露光装置に近接する露光位置と露光位置から離れ
た別の位置との間で移動可能なリソグラフィ装置（位置決め装置）が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４４７２３５８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述した一対のステージ（第１ステージ及び第２ステージ）を備えた従来の位置決め装置では、一方のステージが動作すると、その加減速時に発生する反力によって、他方のステージが微小に変位するおそれがあった。即ち、従来の位置決め装置は、位置決め精度等の観点から、改善の余地があった。
【０００５】
本発明は、上述した問題点に着目してなされたものであり、一対のステージの位置決め静定性及び位置決め精度に優れる位置決め装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するべく、本発明に係る位置決め装置は、下記の通りである。
【０００７】
（１）
基台上で一対のステージがＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に配置される位置決め装置であって、
互いに前記Ｙ軸方向に平行に離間しながら前記Ｘ軸方向に延在して配置された一対のＸ軸方向案内部と、
前記一対のＸ軸方向案内部により前記Ｘ軸方向に移動可能に支持されて、互いに前記Ｘ軸方向に平行に離間しながら前記Ｙ軸方向に延在して配置された一対のＹ軸方向案内部と、
前記一対のＹ軸方向案内部によりそれぞれ前記Ｙ軸方向に移動可能に支持された前記一対のステージと、を備え、
前記一対のステージは、前記Ｘ軸方向及び前記Ｙ軸方向の移動時において、互いに逆向きに加減速される、
位置決め装置。
【０００８】
（２）
上記（１）に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージの加減速度は、当該一対のステージへの搭載部品の質量に対応する、
位置決め装置。
【０００９】
（３）
上記（１）又は（２）の何れか一つに記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージは、それぞれ、前記基台に対して当該一対のステージを気体によって鉛直方向に浮上支持する鉛直方向空気軸受を有する、
位置決め装置。
【００１０】
（４）
上記（３）に記載の位置決め装置であって、
前記一対のステージは、それぞれ、非接触状態で当該一対のステージを前記基台に向けて吸引する吸引力発生部を有する、
位置決め装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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