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公開番号2024053274
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-15
出願番号2022159413
出願日2022-10-03
発明の名称調整弁
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類F16K 5/04 20060101AFI20240408BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】冷却水等の流体の流量を精密に調整することが容易な制御弁を提供する。
【解決手段】流体の流量を調整するための調整弁であって、ブロックと、弁体と、を備える。ブロックには、ブロックを貫通し、かつ、少なくとも一端側が円柱状の形状を有する貫通流路と、貫通流路と連通し、かつ、ブロックの表面において開口する非貫通流路と、が形成される。弁体は、貫通流路の一端側を封止するように貫通流路内に挿入される。弁体には、貫通流路の他端側と連通する連通路が形成される。連通路は、スリットが形成されている側壁に囲まれる。側壁の一部は、貫通流路と非貫通流路との間に位置する。非貫通流路に露出するスリットの長さは、弁体を回転させることによって変更可能である。非貫通流路に露出するスリットの長さに応じて、貫通流路、連通路、スリット及び非貫通流路を通って外部に供給される流体の流量が調整される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
流体の流量を調整するための調整弁であって、
ブロックと、弁体と、を備え、
該ブロックには、該ブロックを貫通し、かつ、少なくとも一端側が円柱状の形状を有する貫通流路と、該貫通流路と連通し、かつ、該ブロックの表面において開口する非貫通流路と、が形成され、
該弁体は、該貫通流路の該一端側を封止するように該貫通流路内に挿入され、
該弁体には、該貫通流路の他端側と連通する連通路が形成され、
該連通路は、スリットが形成されている側壁に囲まれ、
該側壁の一部は、該貫通流路と該非貫通流路との間に位置し、
該非貫通流路に露出する該スリットの長さは、該弁体を回転させることによって変更可能であり、
該長さに応じて、該貫通流路、該連通路、該スリット及び該非貫通流路を通って外部に供給される該流体の該流量が調整される調整弁。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
該側壁は、円筒状であり、
該スリットは、該側壁の円周方向に沿って円弧状に延在し、かつ、該円周方向に垂直な方向に沿った幅が一定である請求項１に記載の調整弁。
【請求項３】
該弁体を回転させるためのアクチュエータと、
該弁体の位置を検出するためのセンサと、
をさらに備える請求項１又は２に記載の調整弁。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量を調整するための調整弁に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
被加工物を分割する方法としては、例えば、切削装置における切削が挙げられる。この切削装置は、一般的に、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルによって保持された被加工物を切削する円環状の切削ブレードが先端部に装着されたスピンドルを有する切削ユニットとを備える。
【０００４】
そして、切削装置においては、スピンドルとともに切削ブレードを回転させた状態で切削ブレードをチャックテーブルに保持された被加工物に接触させることによって被加工物を切削する。また、このように被加工物が切削されると、摩擦熱によって被加工物及び切削ブレードが加熱される。
【０００５】
そして、被加工物の切削中に被加工物及び切削ブレードが加熱されると、被加工物の加工品質が悪化し、かつ／又は、切削ブレードの摩耗が促進されて切削ブレードの寿命が短くなるおそれがある。そのため、被加工物の切削は、一般的に、被加工物と切削ブレードとの接触界面（加工点）に冷却水が供給された状態で行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
ただし、この冷却水の流量が少ない場合には、被加工物及び切削ブレードが十分に冷却されずに上述した問題が生じるおそれがある。他方、この冷却水の流量が多い場合には、切削ブレードの回転が阻害され、かつ／又は、切削ブレードが破損するおそれがある。さらに、この冷却水の適切な流量は、被加工物の加工条件及び／又は切削ブレードの種類等に応じて変化する。
【０００７】
これらの点に鑑み、切削装置には、一般的に、冷却水の流量を調整するための調整弁、例えば、ニードルバルブが設けられている。ニードルバルブにおいては、円筒状の本体に挿入された円錐台状のニードルを後退させて両者の間隙の幅を調整することによって、この間隙を通って供給される冷却水の流量が調整される（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２０１９－１５０９１０号公報
特開平１－１６９１８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ニードルバルブから供給される冷却水の流量は、ニードルが後退する方向と垂直な平面における本体とニードルとの間隙の面積に比例する。そのため、ニードルが後退した距離が長くなるほど、ニードルバルブから供給される冷却水の流量が多くなる。ただし、この面積は、本体からニードルを後退させる距離には比例しない。
【００１０】
そのため、この距離に基づいて、ニードルバルブから供給される冷却水の流量を精密に調整することは容易ではない。この点に鑑み、本発明の目的は、冷却水等の流体の流量を精密に調整することが容易な制御弁を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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