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発行日2025-02-19
公報種別意匠公報(S)
登録番号1791519
登録日2025-02-10
意匠に係る物品ガスディフューザー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024019506,113304339
出願日2024-09-24
意匠権者中勤實業股ふん有限公司
代理人弁理士法人あーく事務所
意匠に係る物品の説明本願の意匠に係る物品「ガスディフューザー」は、ウェハキャリア内に設置され、ガスを本物品の内部から外部に流出させることにより、ガスをウェハキャリアに充満させるためのものであり、多孔性拡散表面を有する中空管体である。
意匠の説明本物品の管体の両端は、それぞれ、開口端および閉鎖端とされ、平面図に表されている端部が開口端であり、底面図に表されている端部が閉鎖端である。
この意匠をJ-PlatPatで参照する
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