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発行日2024-07-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775357
登録日2024-07-04
意匠に係る物品複合シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024006157
出願日2024-03-26
意匠権者株式会社バルカー
代理人弁理士法人エスエス国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えばCVDやドライエッチング装置などの半導体製造装置に使用されて好適な複合シール材である。本物品の複合シール材は、B-B拡大断面図のように、外周側に位置する第1部材と、内周側に位置する第2部材と、から構成される。さらに本物品の複合シール材は、第2部材が環状であるのに対し、第1部材には、右側面から視認した際に確認できる、第1部材の肉厚方向を完全に横断する切込みが入っている。
意匠の説明本物品の背面図は正面図と同一である。底面図は平面図と同一である。
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