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発行日2024-07-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1775354
登録日2024-07-04
意匠に係る物品複合シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024004730
出願日2024-03-07
意匠権者株式会社バルカー
代理人弁理士法人エスエス国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えばCVDやドライエッチング装置などの半導体製造装置に使用されて好適な複合シール材である。また本物品の複合シール材は、参考正面図および参考断面図のように、内周側に位置するゴム部材と外周側に位置する樹脂部材とから構成されている。樹脂部材には周方向に細長い開口部が4箇所貫通形成されており、この開口部から内周側に位置するゴム部材の一部が外周側に露出されるようになっている。
意匠の説明本物品の背面図は正面図と同一である。左側面図は右側面図と同一である。底面図は平面図と同一である。
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