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発行日2024-07-01
公報種別意匠公報(S)
登録番号1774379
登録日2024-06-21
意匠に係る物品複合シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024005445
出願日2024-03-15
意匠権者株式会社バルカー
代理人弁理士法人深見特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置に使用される複合シール材である。本物品の複合シール材は、拡大参考断面図に見られるように、ゴム製の第1シール部材と、このゴム製の第1シール部材より硬質な合成樹脂製の第2シール部材とから構成される。
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