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発行日2025-06-25
公報種別意匠公報(S)
登録番号1802032
登録日2025-06-17
意匠に係る物品半導体製造装置用シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000945
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社バルカー
代理人弁理士法人エスエス国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えばCVDやドライエッチング装置などの半導体製造装置に使用されて好適な半導体製造装置用シール材である。本物品の半導体製造装置用シール材は環状であり、B-B拡大断面図のように、断面形状がD字状となっている。また本物品は、本物品の使用状態を示す参考図のように、接着層を介して互いに接着された第1部材と第2部材の外周端部と、この第1部材と第2部材よりも外側に位置する筒状部材と、の間に設けられた溝部内に配設されて用いられるものである。
意匠の説明本物品の背面図は正面図と同一である。左側面図は右側面図と同一である。底面図は平面図と同一である。
この意匠をJ-PlatPatで参照する

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