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発行日2024-10-07
公報種別意匠公報(S)
登録番号1781644
登録日2024-09-27
意匠に係る物品半導体製造装置用シール材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024010581
出願日2024-05-27
意匠権者株式会社バルカー
代理人弁理士法人エスエス国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、例えばCVDやドライエッチング装置などの半導体製造装置に使用されて好適な半導体製造装置用シール材である。本物品の半導体製造装置用シール材は、B-B拡大断面図のように、断面形状が傾斜姿勢の略長方形であるとともに内周側の側部に凹部を有する。
意匠の説明本物品の背面図は正面図と同一である。左側面図は右側面図と同一である。底面図は平面図と同一である。
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