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発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800887
登録日2025-06-04
意匠に係る物品研磨装置本体
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000969
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨するための研磨装置本体である。フレームには、ワーク(研磨物)やドレッサーを下面に保持するとともにワークやドレッサーの保持部が上下動するワーク等保持ユニットが固定されている。意匠登録を受けようとする部分はベース部材の正面図側に設けられた孔部およびその周辺である。ベース部材の脚部間にこのような孔部を設けることによって、ワーク等保持ユニットにかかる力を効率よく脚部へと伝えることができる。
意匠の説明意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表した。各図において表れる一点鎖線は、登録を受けようとする部分とそれ以外の部分との境界のみを表している。
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