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発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800876
登録日2025-06-04
意匠に係る物品ワーク等保持ユニット用ハウジング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000976
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨する研磨装置に取り付けて使用されるワーク等保持ユニットのハウジングである。使用時には、使用状態を示す参考図1、2に示すように、本物品の正面側左右にガイドレールが取り付けられるとともに本物品底面側凹部にはワーク(研磨物)やドレッサーの保持部が収容される。また、本物品の周面には振り回し調整部が取り付けられる。研磨装置本体にワーク等保持ユニットを取り付けた状態では、使用状態を示す参考図3に示すように、ワーク等保持ユニットの下面にワークやドレッサーを保持させるとともにワークやドレッサーの保持部がガイドレールに沿って上下動する。その際、本物品の周面に取り付けられる振り回し調整部を調整することによって、ワークやドレッサーが水平になるように調整することができる。
意匠の説明各斜視図、使用状態を示す参考図1、2に表れる途切れた線は、立体表面の形状を表すためのものである。
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