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発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800874
登録日2025-06-04
意匠に係る物品研磨装置用フレーム
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000974
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨するための研磨装置に使用されるフレームである。使用状態を示す参考図1乃至3に示すように、フレームには、ワーク(研磨物)やドレッサーを下面に保持するとともにワークやドレッサーの保持部が上下動するワーク等保持ユニットが固定される。そして、フレームに固定される振り回し調整部を調整することによって、ワークやドレッサーが水平になるように調整することができる。意匠登録を受けようとする部分は、振り回し調整部の取付面である。
意匠の説明意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表した。各図において表れる一点鎖線は、登録を受けようとする部分とそれ以外の部分との境界のみを表している。登録を受けようとする部分を示す参考図において、薄墨を施した部分が登録を受けようとする部分である。
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