意匠ウォッチ

発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800871
登録日2025-06-04
意匠に係る物品ワーク等保持ユニット
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000971
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨する研磨装置に取り付けて使用されるワーク等保持ユニットである。使用状態を示す参考図1乃至3は、研磨装置本体にワーク(研磨物)やドレッサーを保持させたワーク等保持ユニットを取り付けた状態を表している。使用時には、本物品の下面にワークやドレッサーを保持させるとともにワークやドレッサーの保持部がガイドレールに沿って上下動する。意匠登録を受けようとする部分は、ガイドレール取付面の一部、ガイドレール、および、ガイドレールに沿って上下動するワークやドレッサーの保持部の一部である。
意匠の説明各部の名称を示す参考図、使用状態を示す各参考図を除く各図において、意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表した。各図において表れる一点鎖線は、登録を受けようとする部分とそれ以外の部分との境界のみを表している。各斜視図、a-a’部分拡大図、登録を受けようとする部分を示す参考図2に表れる途切れた線は、立体表面の形状を表すためのものである。登録を受けようとする部分を示す各参考図において、薄墨を施した部分が登録を受けようとする部分である。

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