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発行日2025-06-12
公報種別意匠公報(S)
登録番号1800877
登録日2025-06-04
意匠に係る物品ベース部材
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000977
出願日2025-01-20
意匠権者株式会社ナガセインテグレックス
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明この意匠に係る物品は、半導体等の製造においてウェハを研磨するための研磨装置本体のベース部材である。本物品は、下部内周面を略伏せ椀状にすることによって、平面図実線部にかかる研磨装置本体のテーブルの荷重を均一に脚部へと伝えることができる。
意匠の説明意匠登録を受けようとする部分を実線で、それ以外の部分を破線で表した。各図において表れる一点鎖線は、登録を受けようとする部分とそれ以外の部分との境界のみを表している。登録を受けようとする部分を示す各参考図において、薄墨を施した部分が登録を受けようとする部分である。
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