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発行日2025-03-24
公報種別意匠公報(S)
登録番号1794186
登録日2025-03-13
意匠に係る物品フローコントロールリング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024025054,29/946,376
出願日2024-12-04
意匠権者エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、反応チャンバー内の反応空間へ出入りするガス流を制御するために使用される。本物品はサセプタから半径方向外側に位置し、サセプタに隣接し、サセプタ上面に接触する。本物品は、反応チャンバーの上部チャンバーと下部チャンバーへのガスの流れを制御する。ガスは、不活性ガスの可能性があり、ウエハ上に層を形成するための反応性ガスの可能性もある。さらに、ガスは必ずしも何かを加熱するために使われるものではない。なお、ウエハは本物品には接触しない。リング底面に表れる窪み(「9-9部拡大端面図」において右側に表れるもの)は整列のためのものである。
意匠の説明各図の表面部に表された細線は、いずれも立体表面の形状を表す線である。

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