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発行日2025-06-27
公報種別意匠公報(S)
登録番号1802266
登録日2025-06-19
意匠に係る物品フローコントロールリング
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025000648,29/953,438
出願日2025-01-15
意匠権者エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、反応チャンバー内の反応空間へ出入りするガス流を制御するために使用される。本物品は、サセプタから半径方向外側に位置し、サセプタに隣接する。本物品は、反応チャンバーの上部チャンバーと下部チャンバーとの間のガス流を可能にする。ガスは、不活性ガスであってもよいし、ウエハ上に層を形成するための反応性ガスであってもよい。ウエハは本物品と接触しない。
意匠の説明各図の表面部に表された細線は、いずれも立体表面の形状を表す線である。
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