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公開番号2025086661
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-09
出願番号2023200802
出願日2023-11-28
発明の名称基板製造システム
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250602BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】通信により基板製造装置の状態を確認することが困難な場合にも、基板製造装置に対する基板収容容器の搬送を適切に行うことが可能な基板製造システムを提供する。
【解決手段】この基板製造システム100は、ロボットアーム11と、ロボットアーム11の先端に取り付けられ、基板Cを収容する基板収容容器Fを保持するハンド14とを含み、ハンド14により基板収容容器Fを保持して搬送する自走式ロボット1と、ロボットアーム11により移動される撮像部2と、撮像部2により撮像される状態表示部38を含み、自走式ロボット1により基板収容容器Fが搬送される基板製造装置3と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ロボットアームと、前記ロボットアームの先端に取り付けられ、基板を収容する基板収容容器を保持するハンドとを含み、前記ハンドにより前記基板収容容器を保持して搬送する自走式ロボットと、
前記ロボットアームにより移動される撮像部と、
前記撮像部により撮像される基板製造装置状態表示部を含み、前記自走式ロボットにより前記基板収容容器が搬送される基板製造装置と、を備える、基板製造システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記自走式ロボットは、前記基板製造装置が通信できない場合に、前記撮像部により撮像した前記基板製造装置状態表示部の画像に基づいて取得された前記基板製造装置の状態を採用する、請求項１に記載の基板製造システム。
【請求項３】
前記基板製造装置は、前記基板収容容器が載置される載置台を含み、
前記基板製造装置状態表示部は、前記載置台上の前記基板収容容器が搬送不可能な状態であるか、または、前記載置台上の前記基板収容容器が搬送可能な状態であるかを表示する、請求項１に記載の基板製造システム。
【請求項４】
前記自走式ロボットは、前記撮像部により撮像した前記基板製造装置状態表示部の画像に基づいて前記載置台上の前記基板収容容器が搬送不可能な状態であると判断される場合、前記載置台上から前記基板収容容器を回収せず、前記撮像部により撮像した前記基板製造装置状態表示部の画像に基づいて前記載置台上の前記基板収容容器が搬送可能な状態であると判断される場合、前記載置台から前記基板収容容器を回収して搬送する制御を行う制御部を含む、請求項３に記載の基板製造システム。
【請求項５】
前記基板製造装置状態表示部は、前記載置台上の前記基板収容容器が搬送不可能な状態であることを示す第１状態表示部と、前記第１状態表示部とは別個に配置され、前記載置台上の前記基板収容容器が搬送可能な状態であることを示す第２状態表示部とを含む、請求項３に記載の基板製造システム。
【請求項６】
前記基板製造装置状態表示部は、前記載置台の近傍に配置されている、請求項３に記載の基板製造システム。
【請求項７】
前記基板製造装置状態表示部は、前記載置台上に前記基板収容容器が配置された状態で、前記基板収容容器の上方に配置されている、請求項６に記載の基板製造システム。
【請求項８】
前記基板製造装置状態表示部は、点灯により状態を表示する、請求項１に記載の基板製造システム。
【請求項９】
前記基板製造装置状態表示部は、前記基板製造装置がエラー状態であるか、前記基板製造装置が通信異常状態であるか、および、前記基板製造装置が備える載置台上に前記基板収容容器が配置された状態であるかの少なくとも１つを表示する、請求項１に記載の基板製造システム。
【請求項１０】
前記撮像部は、前記ハンドにより前記基板収容容器を保持する際に、前記基板収容容器を撮像する撮像部を兼ねる、請求項１に記載の基板製造システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板製造システムに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板製造装置が知られている。
【０００３】
特許文献１には、２つのロードロックチャンバーと、４つの処理チャンバーと、１つの搬送チャンバーと、１台の基板搬送ロボットとを備える基板処理システムが開示されている。ロードロックチャンバーの外側には、基板製造装置に基板を搬出入するための基板製造装置としてのインターフェースが設けられている。インターフェースには、基板処理システムに搬出入される複数の基板が収容されたカセットが配置されている。カセットは、自走車によって搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６３７７９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載されるようなインターフェースでは、自走車が基板収容容器としてのカセットを搬送するために、通信によりインターフェースの状態が確認される場合がある。しかしながら、通信異常に起因して、通信によりインターフェースの状態を確認することが困難な場合もある。この場合、基板製造装置としてのインターフェースに対する基板収容容器の搬送を適切に行うが困難であるという不都合がある。このため、通信により基板製造装置の状態を確認することが困難な場合にも、基板製造装置に対する基板収容容器の搬送を適切に行うことが望まれている。
【０００６】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、通信により基板製造装置の状態を確認することが困難な場合にも、基板製造装置に対する基板収容容器の搬送を適切に行うことが可能な基板製造システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この開示の一の局面による基板製造システムは、ロボットアームと、ロボットアームの先端に取り付けられ、基板を収容する基板収容容器を保持するハンドとを含み、ハンドにより基板収容容器を保持して搬送する自走式ロボットと、ロボットアームにより移動される撮像部と、撮像部により撮像される基板製造装置状態表示部を含み、自走式ロボットにより基板収容容器が搬送される基板製造装置と、を備える。
【０００８】
この開示の一の局面による基板製造システムは、上記のように、ロボットアームに配置される撮像部と、撮像部により撮像される基板製造装置状態表示部を含み、自走式ロボットにより基板収容容器が搬送される基板製造装置と、を設ける。これにより、自走式ロボットは、撮像部により撮像した基板製造装置状態表示部の画像に基づいて、基板製造装置の状態を確認することができる。その結果、通信により基板製造装置の状態を確認することが困難な場合にも、基板製造装置の状態を確認することができるので、基板製造装置に対する基板収容容器の搬送を適切に行うことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本開示によれば、通信により基板製造装置の状態を確認することが困難な場合にも、基板製造装置に対する基板収容容器の搬送を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
一実施形態による基板製造システムの自走式ロボットおよび基板製造装置を示した斜視図である。
一実施形態による基板製造システムのブロック図である。
一実施形態による基板製造システムのクリーンルーム内の自走式ロボットおよび基板製造装置を示した平面図である。
一実施形態による基板製造システムのクリーンルームに配置された自走式ロボットのブロック構成と、監視室に配置された端末とを示した図である。
一実施形態による基板製造システムの基板製造装置の状態表示部を示した斜視図である。
一実施形態による基板製造システムの自走式ロボットにより基板製造装置の内部を撮像する作業を説明するための図である。
一実施形態による基板製造システムの自走式ロボットにより基板製造装置の操作装置を操作する作業を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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