意匠ウォッチ

発行日2025-11-06
公報種別意匠公報(S)
登録番号1812235
登録日2025-10-28
意匠に係る物品基板搬出入機
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025004770
出願日2025-03-11
意匠権者平田機工株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、ガラス基板、半導体基板等の基板を下方から保持しながら搬出入するための基板搬出入機であり、板格納容器または基板処理装置から基板を保持して取り出し、その基板を他の基板格納容器または他の基板処理装置に引き渡すことができる。本物品は、長尺状の2枚の板材が連結されて成るフォークを左右一対備え、搬出入対象の基板は、該左右一対のフォーク(計4枚の板材)の上に載置される。左右一対のフォークは、電動モータから動力を受けて基板搬出入機本体に対して板材の延設方向に移動可能となっており、それにより基板の搬出入を行う。斜視図、正面図、背面図、平面図、底面図、左側面図および右側面図は、基板搬出入機本体からフォークが出された状態を示し、参考斜視図および参考平面図は、フォークが収納された状態を示す。また、基板搬出入機本体の正面側上方には、上述のようにして搬出入される基板を上方から撮像するためのカメラが左右一対取り付けられており、該基板を検査可能となっている。
意匠の説明

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