意匠ウォッチ

発行日2025-09-05
公報種別意匠公報(S)
登録番号1807939
登録日2025-08-28
意匠に係る物品基板搬送用保持具
意匠分類K0-029(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2025004768
出願日2025-03-11
意匠権者平田機工株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、ガラス基板、半導体基板等の基板を下方から保持しながら搬送するための基板搬送用保持具である。使用時の例を示す参考斜視図および参考平面図に示されるように、本物品は、同様の形状または左右対称の類似形状を有する他の保持具と並べられた状態で用いられる。このようにして並べられた複数(参考斜視図および参考平面図の例では4個)の保持具は、後方部の基部にて不図示のプレートに固定され、相互に連結される。搬送対象の基板は、上記複数の保持具の上に載置される。本物品は、上記複数の保持具のうち一方側の端に位置する1つである。尚、保持具の数量は、基板のサイズに応じて変更可能である。本物品の上面において、遠位側の縁部および近位側の縁部のそれぞれには、ボルト部材の頭部が搬送対象の基板を支持する支持部となる形で取り付けられ、該基板を係止するためのフック状の係止部が該ボルト部材により取り付けられている。また、2つの係止部の間にもボルト部材が取り付けられている。尚、上記複数の保持具のうち他方側の端には、本物品とは左右対称の構造を有する保持具が配置されており、また、その間に位置する保持具は、2つのフック状の係止部が設けられていない状態、即ちボルト部材のみが取り付けられた状態で配置されている。本物品を用いることにより、基板格納容器または基板処理装置から基板を保持して取り出し、その基板を他の基板格納容器または他の基板処理装置に搬送することができる。
意匠の説明

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