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発行日2025-08-20
公報種別意匠公報(S)
登録番号1806540
登録日2025-08-12
意匠に係る物品基板支持具
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024026976,29/950,396
出願日2024-12-26
意匠権者ラム リサーチ コーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、半導体処理装置において、半導体基板を支持するためにキャリアリングと共に用いられ得る基板支持具である。
意匠の説明実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。各図の表面部に表された細線は、模様を表す線ではなく、いずれも立体表面の形状を表す線である。
この意匠をJ-PlatPat（特許庁公式サイト）で参照する

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