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発行日2025-04-16
公報種別意匠公報(S)
登録番号1796369
登録日2025-04-08
意匠に係る物品半導体処理用シャワーヘッド
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024025789,29/947,736
出願日2024-12-13
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、例えば、半導体の製造処理に際して用いられる処理ガスを放出するためのシャワーヘッドである。
意匠の説明実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。各図の表面部に表された細線は、模様を表す線ではなく、いずれも立体表面の形状を表す線である。

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