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発行日2025-04-10
公報種別意匠公報(S)
登録番号1795825
登録日2025-04-02
意匠に係る物品基板支持体用シールカバーバンド
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024023181
出願日2024-11-08
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、基板支持体、例えば、静電チャック、を構成する接合層を保護するために備えられているシールを覆うためのシールカバーバンドである。基板支持体において、ベースプレートとトッププレートとは接合層によって接合されている。シールは、接合層を含む、基板支持体の外周縁部において、ベースプレートとトッププレートとの間に配置されている。本物品は、シールを保護するために、基板支持体の外周縁部においてベースプレートとトッププレートとの間にはめ込まれ、シールを覆う。
意匠の説明背面図、右側面図および左側面図は、正面図と同じであるため省略する。

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